[发明专利]微型流体致动器

权利要求书

1.一种微型流体致动器，包括一片地极板、一片电极板；其特征在于，所述电极板包括一层电极板基板、N层线路层、N层绝缘层、一层电极层，N为正整数；

每一线路层，包括一条或多条线条状的导电线路；

所述线路层、绝缘层由下到上依次间隔布置；

最下层线路层覆盖在电极板基板上，

电极层的电极阵列覆盖在最上层绝缘层上；

最上层绝缘层上设置有与所述电极层的电极排列一致的通孔阵列；

各线路层的各条导电线路分别穿过位于其上方的绝缘层上的相应通孔连接电极层的一电极；或者，

所述线路层、绝缘层由上到下依次间隔布置；

电极板基板覆盖在最上层线路层上，

电极层的电极阵列覆盖在电极板基板上；

电极板基板上设置有与所述电极层的电极排列一致的通孔阵列；

最上层线路层的各条导电线路分别穿过位于其上方的电极板基板上的相应通孔连接电极层的一电极；

其他线路层的各条导电线路分别穿过位于其上方的绝缘层及电极板基板上的相应通孔连接电极层的一电极。

2.根据权利要求1所述的微型流体致动器，其特征在于，

所述电极板还包括一电极板介电层和一电极板厌水层；

电极板介电层覆盖在电极板电极层之上；

电极板厌水层覆盖在电极板介电层之上。

3.根据权利要求1所述的微型流体致动器，其特征在于，

N为1、2、3、4或5。

4.根据权利要求1所述的微型流体致动器，其特征在于，

电极层为由方形、月牙形、圆形或锯齿形的电极组成的电极阵列。

5.根据权利要求1所述的微型流体致动器，其特征在于，

电极层的电极之间的间隔小于100微米。

6.根据权利要求1所述的微型流体致动器，其特征在于，

电极层的厚度小于10微米。

7.根据权利要求1所述的微型流体致动器，其特征在于，

所述地极板包括地极板基板、地极板导电层以及地极板厌水层；

地极板导电层覆盖在地极板基板底面；

地极板厌水层覆盖在地极板导电层底面。

8.根据权利要求1所述的微型流体致动器，其特征在于，

所述地极板导电层为透明导电材料；

所述线路层是可印刷的导电材料。

9.根据权利要求8所述的微型流体致动器，其特征在于，

地极板基板的材质为有机玻璃、无机玻璃或聚对苯二甲酸乙二醇酯；

地极板导电层的材质为纳米银线、石墨烯或掺锡氧化铟或铝掺杂氧化锌透明导电玻璃；

地极板厌水层的材质为无定型含氟树脂或透明氟树脂；

电极板基板的材质为照相纸、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺或玻璃；

所述线路层的材质为银浆、纳米银粒、纳米铜粒、纳米银线、纳米铜、碳纳米管、石墨烯、掺锡氧化铟或铝掺杂氧化锌透明导电玻璃；

所述电极板介电层的材质为派瑞林C、氮化硅、氧化硅、氧化铝、派瑞林HT中的一种材料或两种以上材料复合叠加；

所述电极板厌水层的材质为无定型含氟树脂或透明氟树脂。