[发明专利]压电元件及其制造方法、超声波探头、超声波测量装置在审
| 申请号： | 201611042603.3 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN106817105A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 山崎清夏;田村博明 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/05 | 分类号： | H03H9/05;A61B8/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 田喜庆,纪秀凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 元件 及其 制造 方法 超声波 探头 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电元件，其特征在于，
所述压电元件把压电体以及以面方位为[111]的单晶硅作为振动用材料的振动板进行层叠而得。
2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，
所述压电元件包括接合于所述振动板的支承基板，
从所述支承基板的厚度方向看的俯视观察中，所述支承基板在与所述压电体重合的位置具有空腔部。
3.根据权利要求2所述的压电元件，其特征在于，
在所述压电体和所述振动板之间设置有氧化锆层及氧化硅层。
4.一种超声波探头，其特征在于，
所述超声波探头具备权利要求1所述的压电元件，用于发送超声波。
5.一种超声波探头，其特征在于，
所述超声波探头具备权利要求1所述的压电元件，用于接收超声波。
6.一种超声波探头，其特征在于，
所述超声波探头具备权利要求1所述的压电元件，用于发送和接收超声波。
7.一种超声波测量装置，其特征在于，
所述超声波测量装置具备权利要求4所述的超声波探头。
8.一种压电元件的制造方法，其特征在于，包括：
从面方位为[111]的单晶硅晶圆切出用于振动板的振动用材料的工序；以及
层叠压电体和所述振动板的工序。
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