[发明专利]红外探测器单模多变的响应度测试系统和方法

说明书

本发明公开了一种红外探测器单模多变的响应度测试系统和方法，包括：激光源，输出一定红外波长；多种单模光纤，根据红外探测器吸收红外波长的范围和激光器发射红外波长的范围，对需要测定探测器特定红外波长的响应度进行适应性更换；分光计系统，计算输入探测器光功率值；样品测试台，承载待测红外探测器；恒流电压源，至少用以测量待测红外探测器的光电流数值。本发明测试系统具有比较灵活、方便、测试简单、成本低等特点。该测试方法应用于InGaAs探测器，对于1310nm/1550nm红外波段的响应度测试具有良好的优越性。

技术领域

本发明涉及一种红外探测器单模多变的响应度测试系统和方法，用于对红外探测器在吸收红外波长范围内的单模多变的响应度测试。

背景技术

近年来，随着光电技术，电子技术在电子信息行业的快速发展，大功率器件、探测器、激光器、传感器等器件在军工、通信系统、电力系统等行业都得到广泛的应用。由于InGaAs、InAs、GaN等Ⅲ-Ⅴ族材料、器件的优越性，越来越多的的企业、研究所、院校更进一步的重点对其研究，不断取得创新与突破，广泛的应用于各行各业。

探测器响应度测试是在一定反向偏压和相应波长下，单位面积光电流与光功率的比值R_e＝I_L/P_in。目前对探测器响应度的测试方法比较复杂而且单一化，大多测试都是进行相应光谱范围的测试研究，而且其测试设备比较昂贵、测试系统比较复杂。对于探测器吸收红外波长范围内的特定波长的响应度测试系统方法鲜有提及，而且普遍性不强。

发明内容

本发明的目的在于提供一种红外探测器单模多变的响应度测试系统和方法，以克服现有技术中的不足。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明实施例公开一种红外探测器单模多变的响应度测试系统，包括：

激光源，输出一定红外波长；

多种单模光纤，根据红外探测器吸收红外波长的范围和激光器发射红外波长的范围，对需要测定探测器特定红外波长的响应度进行适应性更换；

分光计系统，计算输入探测器光功率值；

样品测试台，承载待测红外探测器；

恒流电压源，至少用以测量待测红外探测器的光电流数值。

优选的，在上述的红外探测器单模多变的响应度测试系统中，所述分光计系统包括分光计、第一光功率计和第二光功率计，所述分光计将激光源发射的特定波长的光功率按照1:9分成两路，光功率为1的一路被第一光功率计获取，另一路输入待测红外探测器后被第二光功率计获取。

优选的，在上述的红外探测器单模多变的响应度测试系统中，还包括连接于所述激光源的温控器，保证激光源在发射红外波长工作环境温度下的稳定性。

优选的，在上述的红外探测器单模多变的响应度测试系统中，还包括连接于所述激光源的驱动器，调节该激光源特定红外波长下的输出光功率大小。

优选的，在上述的红外探测器单模多变的响应度测试系统中，所述样品测试台包括对外界自然光进行遮挡的罩体。

优选的，在上述的红外探测器单模多变的响应度测试系统中，该红外探测器单模多变的响应度测试系统应用于InGaAs探测器测试。

相应的，本发明还公开了一种红外探测器单模多变的响应度测试方法，包括：

激光源输出一定红外波长；

多种单模光纤根据红外探测器吸收红外波长的范围和激光器发射红外波长的范围，对需要测定探测器特定红外波长的响应度进行适应性更换；

分光计系统计算输入探测器光功率值；