[发明专利]电沉积装置及其电沉积方法

权利要求书

1.一种电沉积装置，包括阴极（4）、阳极（2）和电沉积槽（1），其特征在于，所述电沉积装置还包括离子交换膜（3），所述离子交换膜（3）的下端及两侧分别与电沉积槽（1）的底壁及侧壁对应密封连接，将电沉积槽（1）分为阴极溶液槽（5）和阳极溶液槽（6），所述阴极溶液槽（5）内设有阴极电沉积液，所述阳极溶液槽（6）内设有阳极电沉积液，所述阴极（4）位于所述阴极电沉积液中，所述阳极（2）位于所述阳极电沉积液中。

2.根据权利要求1所述的电沉积装置，其特征在于，所述阴极电沉积液和所述阳极电沉积液相同，均为酸性碲化镉电沉积溶液或碱性碲化镉电沉积溶液，且所述酸性碲化镉电沉积溶液的PH值为1-2，所述碱性碲化镉电沉积溶液的PH值为10-11。

3.根据权利要求1所述的电沉积装置，其特征在于，所述阴极电沉积液为酸性碲化镉电沉积溶液，所述阳极电沉积液为PH值与所述酸性碲化镉电沉积溶液相等的酸溶液，且所述酸溶液中的氢离子有效浓度等于酸性碲化镉电沉积溶液中的氢离子有效浓度。

4.根据权利要求1所述的电沉积装置，其特征在于，所述阴极电沉积液为碱性碲化镉电沉积溶液，所述阳极电沉积液为PH值与所述碱性碲化镉电沉积溶液相等的碱溶液，且所述碱溶液中的氯离子有效浓度等于碱性碲化镉电沉积溶液中的氯离子有效浓度。

5.一种电沉积方法，应用于权利要求1-4任一项所述的电沉积装置，其特征在于，所述方法按照如下步骤进行：

S101：分别在阳极溶液槽（6）和阴极溶液槽（5）中注入阳极电沉积液和阴极电沉积液，并将预先准备好阳极（2）和阴极（4）物质放入阳极电沉积液和阴极电沉积液中；

S102：在阳极（2）和阴极（4）之间通入直流电压，开始电沉积。