[发明专利]一种石墨舟上下料装置及其上下料方法

说明书

一种石墨舟上下料装置及其上下料方法，装置包括机械手、托盘、伸缩杆及支架，机械手与支架连接，托盘上沿着远离石墨舟的方向依次设有承托区、第一铰接部和第二铰接部，第一铰接部与支架下部铰接，第二铰接部与伸缩杆下端铰接，伸缩杆上端与支架上部铰接。方法包括步骤S1、机械手带动托盘运动至承托区位于石墨舟的承托间隙正上方；S2、伸缩杆收缩，托盘绕第一铰接部向下转动，承托区运动至石墨舟侧面；S3、机械手带动托盘垂直向下运动至承托区位于承托间隙侧下方；S4、伸缩杆伸长，托盘绕第一铰接部向上转动，承托区进入至承托间隙内；S5、机械手带动托盘垂直向上运动将石墨舟拾起离开取舟位置。本发明能在水平运动空间不足时顺利抓取石墨舟。

技术领域

本发明涉及太阳能硅电池片生产技术，尤其涉及一种石墨舟上下料装置及其上下料方法。

背景技术

PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相淀积设备）是太阳能硅电池片生产线上最重要的工艺设备之一，通过该设备可在硅电池片上镀一层抗反射膜，从而达到提高电池片效率的目的。石墨舟是工艺过程中硅电池片的承载工具，硅电池片通过自动插\取片机（自动插\取片机是实现硅电池片生产自动化的又一重要设备，用于硅片插放和取出石墨舟，实现硅片在花篮和石墨舟之间互换）装入石墨舟，再通过PECVD的自动上下料系统将石墨舟转移至推舟系统，推舟系统最终将石墨舟传输至反应炉管内。工艺完成后，再执行相反的传输过程，将完成工艺过程后的硅电池片取出。

如附图1所示，传统的石墨舟自动上下料系统的主要工作过程为：机械手（图中未标示）带动托盘1从水平方向进入石墨舟2两端的承托间隙21中，通过机械手的向上动作将石墨舟2拾起，石墨舟2脱离取舟位置后，机械手运动至放舟目标位置，然后机械手向下运动将石墨舟2落下，最后机械手带动托盘1水平反向运动，退出承托间隙21。

现有的硅电池片生产线上，自动插\取片机和PECVD之间的石墨舟2传送，需要生产人员操作载舟小车来实现。随着技术的不断进步，为了实现硅电池片生产线的自动化、提高生产效率，要求实现PECVD设备和自动插\取片机之间石墨舟2的自动传输，为此需要在PECVD底板上安装传送石墨舟2的导轨，利用自动上下料系统将石墨舟2从PECVD的缓存架抓取到导轨上，再通过导轨将石墨舟2传送到自动插\取片机。传统的石墨舟自动上下料系统其托盘1只能从水平方向进入石墨舟2的承托间隙21中，取放舟的位置需要给托盘1预留充足的水平运动空间，由于安装的导轨和PECVD下管推舟基本在同一高度，导致传统的自动上下料系统其托盘1在导轨上和下管取放舟的水平空间不足，运动过程中会发生干涉，无法顺利进入石墨舟2两端的承托间隙21中。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、使用方便、能够在水平空间不足的情况下顺利抓取的石墨舟上下料装置。

进一步地，本发明还提供该石墨舟上下料装置的上下料方法。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种石墨舟上下料装置，包括机械手、托盘及支架，所述机械手与所述支架连接，石墨舟上下料装置还包括伸缩杆，所述托盘上沿着远离石墨舟的方向依次设有承托区、第一铰接部和第二铰接部，所述第一铰接部与所述支架下部铰接，所述第二铰接部与所述伸缩杆下端铰接，所述伸缩杆上端与所述支架上部铰接。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述承托区内设有用来检测有无石墨舟的检测压块。

所述承托区内设有与石墨舟拾取部位形状匹配的定位槽。

所述伸缩杆为电动推杆、气缸或液压缸。

所述托盘上设有一对用来检测托盘转动极限位置的挡片。