[发明专利]一种自对准双层图形结构及其制备方法在审
| 申请号： | 201611021575.7 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN106531722A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘哲;潘如豪;杜硕;李俊杰;顾长志 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/311;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙)11391 | 代理人： | 范晓斌,薛峰 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 对准 双层 图形 结构 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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