[发明专利]一种自对准MEMS压阻式加速度计制作方法在审
| 申请号： | 201610998177.4 | 申请日： | 2016-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN106564857A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 陈博;黄斌;王文婧;陈璞;庄须叶;郭群英 | 申请（专利权）人： | 北方电子研究院安徽有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01P15/09;G01P15/12 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233030 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 对准 mems 压阻式 加速度计 制作方法 | ||
【说明书】：
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