[发明专利]一种用于制造微型结构的系统和方法

权利要求书

1.一种多层喷嘴结构，其特征在于，包括第一层结构(6001)和第二层结构(6004)，在第一层结构(6001)和第二层结构(6004)之间形成有第一间隙(6007)，在第一层结构(6001)中形成有贯穿第一层结构(6001)的第一层孔(6006)，在第二层结构(6004)中形成有贯穿第二层结构(6004)的第二层孔(6005)，并且第一层孔(6006)和第二层孔(6005)相互对准。

2.根据权利要求1所述的多层喷嘴结构，其中第一层结构(6001)形成有向第二层结构(6004)突出的特征件(6003)，并且第一层孔还贯穿特征件(6003)。

3.根据权利要求1所述的多层喷嘴结构，其中在第一层结构(6001)中形成有多个所述第一层孔(6006)，在第二层结构(6004)中形成有多个第二层孔(6005)，并且多个第一层孔(6006)和多个第二层孔(6005)一对一地相互对准。

4.根据权利要求2所述的多层喷嘴结构，还包括第三层结构(6010)，在第二层结构(6004)和第三层结构(6010)之间形成有第二间隙(6011)，在第三层结构(6010)中形成有贯穿第三层结构(6010)的第三层孔，并且第三层孔与第一层孔和第二层孔相互对准。

5.根据权利要求4所述的多层喷嘴结构，其中第一层结构和第二层结构通过沿着这两个结构的边缘的结合部结合在一起，并且在所述结合部的外侧形成有通道，所述通道与第二间隙连通。

6.一种制造多层喷嘴结构的方法，包括：

使用模制板模制出第一层结构(6001)；

将第一层结构(6001)作为模制板，在第一层结构(6001)上模制出由牺牲材料构成的第一牺牲层结构(6002)；

将第一牺牲层结构(6002)作为模制板，在第一牺牲层结构(6002)上模制出第二层结构(6004)；

使流动流(6018)穿过第一层结构(6001)，第一牺牲层结构(6002)和第二层结构(6004)，从而在第一层结构(6001)和第二层结构(6004)中形成相互对准的第一层孔(6006)和第二层孔(6005)；

移除第一牺牲层(6002)，从而在第一层结构(6001)和第二层结构(6004)之间形成第一间隙(6007)。

7.根据权利要求6所述的制造多层喷嘴结构的方法，还包括：

将第二层结构(6004)作为模制板，在第二层结构(6004)上模制出第二牺牲层结构(6009)；

将第二牺牲层结构(6009)作为模制板，在第二牺牲层结构(6009)上模制出第三层结构(6010)；

使流动流(6018)还穿过第二牺牲层结构(6009)和第三层结构(6010)，从而在第三层结构(6010)中形成与第一层孔和第二层孔对准的第三层孔。