[发明专利]一种直写式丝网制版系统的拼接改善方法有效

专利信息
申请号: 201610973504.0 申请日: 2016-11-07
公开(公告)号: CN108062005B 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 俞庆平 申请(专利权)人: 俞庆平
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 代理人: 王丽丽
地址: 安徽省合肥市蜀山区*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 直写式 丝网 制版 系统 拼接 改善 方法
【权利要求书】:

1.一种直写式丝网制版系统的拼接改善方法,在所述系统中空间光调制器由数据处理系统驱动并根据数据处理系统发送的图像数据将待曝光的图像转移到网版上实现直写式制版,所述拼接改善方法用于对网版上图像的条带连接位置进行改善,其特征在于,所述拼接改善方法通过对曝光图像的条带连接位置进行能量均匀化的重叠曝光实现,所述重叠曝光是指对于曝光图像上的相邻条带在曝光时有一定宽度区域重叠,所述能量均匀化是指对写入空间光调制器的图像数据进行四角区域数据清零处理;

所述拼接改善方法包括如下步骤:

图像预处理步骤,对待曝光的图像进行预处理,形成空间光调制器能够使用的图形数据;

确定重叠曝光区域宽度步骤,确定待曝光的图像的相邻两个条带需要重叠的数据宽度;

补充黑图步骤,将所述待曝光的图像左右两侧补充与所述相邻两个条带需要重叠的数据宽度同样宽度的黑图,得到补充黑图后的待曝光图像;

切割条带步骤,将补充黑图后的待曝光图像按照空间光调制器所能扫描的宽度沿扫描方向切割获取切割条带后的图像数据;

能量均匀化步骤,将所述切割条带后的图像数据发送给数据处理系统,所述数据处理系统将所述切割条带后的图像数据写入空间光学调制器中, 在写入所述空间光学调制器的同时,将所述切割条带后的图像数据的四个角上清除同样列数同样行数的区域数据,得到处理完毕的图像数据;

图形转移步骤,空间光调制器根据所述处理完毕的图像数据将图形投影到网版上进行一个条带的图形曝光;

步进移动步骤,一个条带的数据曝光完成后,步进平台步进d2距离,进行下一条带的曝光,d2满足下列公式

d2=L-d1,

其中,L是条带宽度,d1是所述确定重叠曝光区域宽度步骤中所述待曝光的图像的相邻两个条带需要重叠的数据宽度;

能量均匀化步骤中,列数满足p=d1/m,其中p为列数,m为一个光斑的大小;行数等于H/4,其中H为空间光调制器的行数。

2.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统的拼接改善方法,其特征在于:所述确定重叠曝光区域宽度步骤中所述待曝光的图像的相邻两个条带需要重叠的数据宽度与扫描平台的移动位置精度、扫描平台的重复定位精度以及扫描平台运动方向偏离直线的距离满足下列公式

其中,d1代表所述待曝光的图像的相邻两个条带需要重叠的数据宽度,yaw代表所述扫描平台运动方向偏离其理想运动方向的距离的最大值,rePos表示所述平台的重复定位精度,Pos表示所述平台的移动位置精度。

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