[发明专利]一种直写式丝网制版系统及制版方法在审
申请号: | 201610973501.7 | 申请日: | 2016-11-07 |
公开(公告)号: | CN108062003A | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 俞庆平 | 申请(专利权)人: | 俞庆平 |
主分类号: | G03F7/12 | 分类号: | G03F7/12;G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 安徽省合肥市蜀山区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直写式 丝网 制版 系统 方法 | ||
1.一种直写式丝网制版系统,用于丝网制版过程中在网板上进行图形曝光,其特征在于:包括主机(1)、运动系统(2)、光源驱动控制器(3)、光源(4)、可编程数据控制器(5)、空间光调制器(6)、主动聚焦模块(7)、光学镜头(8)、位置误差修正模块(9)以及通信模块(10);
所述运动系统(2)由步进平台(2-1)、扫描平台(2-2)以及平台驱动器(2-3)组成,其中平台驱动器(2-3)与主机(1)相连并驱动步进平台(2-1)和扫描平台(2-2)运动;
所述光源驱动控制器(3)控制所述光源(4)的开关状态以及光强;
所述可编程数据控制器(5)与主机直接相连(1),在主机(1)的控制下驱动空间光调制器(6)完成曝光任务;
所述主动聚焦模块(7)控制光学镜头(8)与网板间的距离;
所述位置误差修正模块(9)接收扫描平台(2-2)发出的实时位置信号,对实时位置信号进行修正得到精确位置信号,并将精确位置信号输出至可编程数据控制器(5);
所述通信模块(10)上行与主机(1)相连,下行与光源驱动控制器(3)以及主动聚焦模块(7)分别相连。
2.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统,其特征在于:所述主机(1)是个人计算机、服务器或工控机中的一种。
3.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统,其特征在于:所述步进平台(2-1)承载网板并带动网板运动,所述扫描平台(2-2)承载主动聚焦模块(7)和光学镜头(8)并带动主动聚焦模块(7)和光学镜头(8)运动。
4.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统,其特征在于:所述光源(4)是激光器或LED中的一种。
5.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统,其特征在于:所述可编程数据控制器(5)由随机存储器、现场可编程门阵列以及空间光调制器控制芯片组成。
6.根据权利要求5所述的一种直写式丝网制版系统,其特征在于:所述空间光调制器控制芯片为数字光处理芯片。
7.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统,其特征在于:所述空间光调制器(6)为数字微镜器件。
8.根据权利要求1所述的一种直写式丝网制版系统,其特征在于:所述主动聚焦模块(7)由高速电机、位置传感器和主动聚焦控制器组成。
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