[发明专利]液体喷射装置

说明书

本发明提供一种液体喷射装置，其特征在于，包括：上部块，在其内部具有收容液体的上部腔室；下部块，形成与所述上部腔室连通的流路，同时配置在所述上部块的下部；并且，侧面块，结合于所述上部块及所述下部块的两侧面上，形成利用所述上部腔室将所述液体注入的液体注入部，所述下部块，包括：第1外部板及内部板，从所述上部块的下部相互相对配置，及第1流路形成部件，配置于所述第1外部板及所述内部板之间，形成第1流路壁的同时与所述第1外部板及所述内部板共同形成第1流路，及流路形成部件固定单元，用于将所述第1流路形成部件固定到所述内部板上。

技术领域

本发明涉及一种液体喷射装置，尤其涉及一种可以将产品的加工工序简单化，通过将结合结构简单化从而节省制作费用的液体喷射装置。

背景技术

一般来说，液体喷射装置主要用于，在清洗基板后将压缩气体喷射到基板上，从而去除残留在基板上的清洗液。

这种液体喷射装置为了在中间部分提供流路，从而将两层的板相互重叠排列，以至具有通过所述流路将压缩气体喷射的结构。

这种液体喷射装置配置于基板上部，随着基板的移动将压缩气体喷射到基板表面上，从而将沾在基板表面的清洗液等去除。

但是，这种以往的液体喷射装置为了形成所述流路需要另外加工板主体上形成流路的槽，由于板的结合结构复杂，所以在制作产品上存在消耗很多费用和时间的问题。

发明内容

本发明需要解决的问题是，一种使产品的加工工序简单化，并且通过将结合结构简单化，从而提供节省制作费用的液体喷射装置。

为了达成上述本发明将要解决的问题，本发明提供一种液体喷射装置，其特征在于，包括：上部块，在其内部具有收容液体的上部腔室；下部块，形成与所述上部腔室连通的流路，同时配置在所述上部块的下部；并且，侧面块，结合于所述上部块及所述下部块的两侧面上，形成利用所述上部腔室将所述液体注入的液体注入部，所述下部块，包括第1外部板及内部板，从所述上部块的下部相互相对配置，及第1流路形成部件，配置于所述第1外部板及所述内部板之间，形成第1流路壁的同时与所述第1外部板及所述内部板一并形成第1流路，及流路形成部件固定单元，用于将所述第1流路形成部件固定到所述内部板上。

所述下部块，还包括：第2外部板，以所述内部板为标准配置于所述第1外部板的反方向，及第2流路形成部件，配置于所述第2外部板及所述内部板之间，形成第2流路壁的同时与所述第2外部板及所述内部板一并形成第2流路。

所述下部块还包括下部块结合部件，下部块结合部件用于将所述第1外部板、所述第1流路形成部件、所述内部板、所述第2流路形成部件及所述第2外部板同时结合。

所述第1流路形成部件，包括：第1连接框架，沿着所述内部板的长度方向形成从而配置于所述内部板的上面，及一对第1外侧流路壁，在所述第1连接框架的两端向下部延长形成，及多个第1内侧流路壁，在所述一对第1外侧流路壁之间以一定间隔配置的同时，向所述第1连接框架的下部延长。

在所述第1外部板的下部区域上形成用于均匀喷射所述液体的第1缓冲腔室，所述第1内侧流路壁的下部区域为了将所述液体向所述第1缓冲腔室分散引导，形成结构为越接近下端部宽度越窄。

所述一对第1外侧流路壁分别配置于所述第1外部板的侧端及所述内部板的侧端之间，所述多个第1内侧流路壁比所述一对第1外侧流路壁的长度短。

所述流路形成部件固定单元，包括：流路形成部件固定板，配置于所述第1流路形成部件的第1连接框架和所述第2流路形成部件的第2连接框架上面，及固定用结合部件，用于固定所述流路形成部件固定板和所述内部板，所述流路形成部件固定单元同时固定所述第1流路形成部件和所述第2流路形成部件。