[发明专利]一种快速收集阈值电压分布的方法有效
| 申请号： | 201610971021.7 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN106653095B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 席与凌;李强 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;张磊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 快速 收集 阈值 电压 分布 方法 | ||
1.一种快速收集阈值电压分布的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S01：定义扫描时的电压扫描范围及电压扫描步长；
步骤S02：从电压扫描范围的起点开始，以多倍电压扫描步长对存储单元进行第一次扫描，记录首次出现功能读取失效的存储单元时的第一电压值，以及全部存储单元出现功能读取失效时的第二电压值；
步骤S03：根据第一次扫描的结果，确定存储单元的阈值电压理论分布范围；所述阈值电压理论分布范围满足：
( (V1–M·Vstep)～V2)
其中，V1代表第一电压值，V2代表第二电压值，Vstep代表电压扫描步长，M代表第一次扫描时电压扫描步长的倍率；
步骤S04：从阈值电压理论分布范围的起点开始，以单倍电压扫描步长对存储单元进行第二次扫描，记录首次出现功能读取失效的存储单元时的第三电压值，以及全部存储单元出现功能读取失效时的第四电压值，并自第四电压值起继续扫描至少三个电压扫描步长；
步骤S05：根据第二次扫描结果，计算出存储单元的阈值电压实际分布范围。
2.根据权利要求1所述的快速收集阈值电压分布的方法，其特征在于，所述阈值电压理论分布范围的起点电压大于电压扫描范围的起点电压。
3.根据权利要求1所述的快速收集阈值电压分布的方法，其特征在于，所述阈值电压理论分布范围的终点电压小于电压扫描范围的终点电压。
4.根据权利要求1所述的快速收集阈值电压分布的方法，其特征在于，第一次扫描时电压扫描步长的倍率M为5～20。
5.根据权利要求1所述的快速收集阈值电压分布的方法，其特征在于，步骤S04中，当第四电压值小于第二电压值时，继续扫描至第二电压值。
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