[发明专利]带电粒子束透镜装置、带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置

权利要求书

1.一种带电粒子束透镜装置，其特征在于，包括：

透镜部，形成在使带电粒子束通过的贯通孔的周围，且使所述带电粒子束收束或扩散；及

支撑部，包围所述透镜部的外周；

所述透镜部的与所述支撑部相接的外周部分及所述支撑部的与所述透镜部相接的内周部分的至少一者具有用来使冷却用流体沿着所述透镜部的外周流动的槽部。

2.一种带电粒子束透镜装置，其特征在于，包括：

透镜部，形成在使带电粒子束通过的贯通孔的周围，且使所述带电粒子束收束或扩散；及

支撑部，包围所述透镜部的外周；

所述透镜部具有：

第一部件，形成在所述贯通孔的周围；及

第二部件，包围所述第一部件的外周；

所述第一部件的与所述第二部件相接的外周部分及所述第二部件的与所述第一部件相接的内周部分的至少一者具有用来使冷却用流体沿着所述第一部件的外周流动的槽部。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束透镜装置，其特征在于，所述外周部分及所述内周部分为与所述贯通孔的延伸方向平行的面的至少一部分。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束透镜装置，其特征在于，所述槽部相对于通过所述贯通孔的中心轴的面而对称地形成。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束透镜装置，其特征在于，包括：

流入部，与所述槽部的一端连接；及

排出部，与所述槽部的另一端连接；

所述槽部使从所述流入部流入的冷却用流体从所述排出部排出。

6.根据权利要求5所述的带电粒子束透镜装置，其特征在于，所述流入部形成在所述透镜部的所述带电粒子束出射的这一侧，

所述排出部形成在所述透镜部的所述带电粒子束入射的这一侧。

7.根据权利要求5所述的带电粒子束透镜装置，其特征在于，包括：流入侧流体槽，连接在所述流入部，且从所述流入部供给冷却用流体；及

排出侧流体槽，连接在所述排出部，且从所述排出部排出通过所述槽部的冷却用流体。

8.根据权利要求5所述的带电粒子束透镜装置，其特征在于，包括：多个所述槽部，及与多个所述槽部各自对应的多个所述流入部及多个所述排出部。

9.根据权利要求1所述的带电粒子束透镜装置，其特征在于，所述透镜部形成为具有与所述贯通孔的延伸方向平行的中心轴的圆柱形状，且外径为22mm以上30mm以内。

10.根据权利要求1所述的带电粒子束透镜装置，其特征在于，所述槽部是供以水作为主成分的冷却水作为所述冷却用流体而流动。

11.根据权利要求10所述的带电粒子束透镜装置，其特征在于，所述槽部的截面面积为0.5mm²以上1mm²以下，长度为0.7m以上1.5m以下。

12.根据权利要求2所述的带电粒子束透镜装置，其特征在于，所述透镜部包括：

势垒部，形成所述贯通孔；

激磁部，产生所述贯通孔的延伸方向上的磁场；及

磁体部，调节所述激磁部所产生的磁场的方向；

所述第一部件及所述第二部件形成所述势垒部、所述激磁部、及所述磁体部中的至少1个。

13.一种带电粒子束柱，其特征在于，包括：

粒子源，放出带电粒子束；及

根据权利要求1及3至12中任一项所述的带电粒子束透镜装置。

14.一种带电粒子束曝光装置，具备1个或多个根据权利要求13所述的带电粒子束柱。