[发明专利]电沉积磨具的制造方法在审
| 申请号： | 201610952548.5 | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN106944940A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 关龙也;片山壮一 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 磨具 制造 方法 | ||
1.一种电沉积磨具的制造方法，其特征在于，该电沉积磨具的制造方法具有如下的工序：
磨具部形成工序，在由包含铝在内的材料形成的环状的基台上形成由多孔性构造的镀层和分散在该镀层中的磨粒构成的磨具部；
基台去除工序，使药液作用于与该磨具部重叠的该基台的一部分而将该基台的一部分去除；以及
保护层形成工序，在该磨具部形成工序之前，在该基台的表面上形成保护层，该保护层用于保护该基台不受通过了该镀层的该药液影响。
2.根据权利要求1所述的电沉积磨具的制造方法，其特征在于，
在所述磨具部形成工序中，使所述基台和镍电极浸入到混入了用于使所述镀层成为多孔性构造的添加剂和所述磨粒的镍电镀浴槽中，将该基台作为阴极并将该镍电极作为阳极而流过直流电流，由此形成与所述保护层重叠的所述磨具部。
3.根据权利要求1或2所述的电沉积磨具的制造方法，其特征在于，
该电沉积磨具的制造方法还具有如下的保护层去除工序：在所述基台去除工序之后，将所述保护层的一部分去除而使所述磨具部的被该保护层覆盖的区域露出。
4.根据权利要求3所述的电沉积磨具的制造方法，其特征在于，
在所述保护层形成工序中，由包含铜在内的材料形成所述保护层，
在所述基台去除工序中，使用氢氧化钠溶液来作为所述药液而将所述基台的一部分去除，
在所述保护层去除工序中，使硫酸铵溶液作用于被所述基台覆盖的所述保护层的一部分而将该保护层的一部分去除。
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