[发明专利]一种产生低能离子的装置在审
申请号: | 201610949340.8 | 申请日: | 2016-10-27 |
公开(公告)号: | CN106328478A | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | 陈邵龙;管桦;梁世勇;杨航;宋红芳;黄垚;高克林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院武汉物理与数学研究所 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/24;H01J49/06 |
代理公司: | 武汉荆楚联合知识产权代理有限公司42215 | 代理人: | 王健 |
地址: | 430071 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 产生 低能 离子 装置 | ||
【说明书】:
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