[发明专利]光罩检测装置及其方法

权利要求书

1.一种光罩检测装置，其特征在于，包含：

检测基座，其一面上设有支架；

移动平台，其设于所述检测基座的一面上，且位于所述检测基座及所述支架之间，所述移动平台沿所述检测基座作第一方向位移；

转动平台，其设于所述移动平台上，且沿所述移动平台作与所述第一方向垂直的第二方向位移；

承载平台，其设于所述转动平台的一面上，所述承载平台承载光罩，所述光罩包含基板、框架及防尘膜，所述框架设于所述基板的一面上，所述防尘膜设于所述框架上；

激光测距模块，其设于所述支架的一侧，所述激光测距模块对应所述防尘膜的其中一个检测区域产生测距信号；

垂直位移模块，其设于所述支架的一侧；

处理模块，其根据所述测距信号控制所述垂直位移模块升降；以及

影像采集模块，其相邻所述激光测距模块并设置于所述垂直位移模块上，且于所述垂直位移模块升降后，采集由所述激光测距模块所测量的所述检测区域的检测影像；

其中，当所述影像采集模块采集其中一个所述检测区域的所述检测影像后，所述移动平台将下一个所述检测区域移至对应所述激光测距模块及所述影像采集模块的位置，以产生下一个所述检测区域的所述测距信号及所述检测影像，所述处理模块根据多个所述测距信号产生防尘膜高度信息，且根据各所述检测影像产生检测信息；

其中，所述处理模块将所述防尘膜高度信息汇整成附图，且根据所述附图判断所述光罩是否过度凸起。

2.如权利要求1所述的光罩检测装置，其特征在于，所述移动平台包含导轨，所述转动平台沿着所述导轨位移。

3.如权利要求1所述的光罩检测装置，其特征在于，所述垂直位移模块以垂直所述移动平台的方向升降。

4.如权利要求1所述的光罩检测装置，其特征在于，所述检测信息包含微粒位置、微粒尺寸或其组合。

5.一种光罩检测方法，用于如权利要求1所述的光罩检测装置，其特征在于，所述光罩检测方法包含下列步骤：

测量位于预设位置的所述光罩的所述防尘膜中的其中一个所述检测区域，并对应产生所述测距信号；

根据所述测距信号控制设于所述垂直位移模块上的所述影像采集模块升降；

采集对应所述测距信号的所述检测区域的所述检测影像；

通过所述移动平台将另一个所述检测区域移至所述预设位置，并对应产生所述测距信号及采集所述检测影像；

测量多个所述检测区域后，根据多个所述测距信号产生所述防尘膜高度信息；

采集多个所述检测区域的多个所述检测影像后，根据各个所述检测影像产生所述检测信息；以及

根据所述防尘膜高度信息汇整成所述附图，且根据所述附图判断所述光罩是否过度凸起。

6.如权利要求5所述的光罩检测方法，其特征在于，所述移动平台包含导轨，承载所述光罩的所述承载平台是沿着所述导轨位移。

7.如权利要求5所述的光罩检测方法，其特征在于，所述垂直位移模块以垂直所述移动平台的方向升降。

8.如权利要求5所述的光罩检测方法，其特征在于，所述检测信息包含微粒位置、微粒尺寸或其组合。