[发明专利]具有限定的热、机械和电特性的热接合材料有效

专利信息
申请号: 201610945062.9 申请日: 2016-10-26
公开(公告)号: CN107039289B 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: T·巴斯勒;F·布鲁基;E·菲尔古特;C·卡斯特兰;M·门格尔 申请(专利权)人: 英飞凌科技奥地利有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/29;H01L23/373
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 周家新
地址: 奥地利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 限定 机械 特性 接合 材料
【权利要求书】:

1.一种电子部件(100),所述电子部件(100)包括:

·导电载体(102);

·位于所述载体(102)上的电子芯片(104);

·包封所述载体(102)的和所述电子芯片(104)的一部分的包封剂(106);

·电绝缘且导热的接合结构(108),其覆盖所述载体(102)的暴露表面部分和所述包封剂(106)的连接表面部分;

·其中,所述接合结构(108)由具有填充了填料颗粒(304)的硅酮基质(302)的材料制成;以及

其中,所述接合结构(108)的材料与所述载体(102)的被覆盖的暴露表面部分的材料和所述包封剂(106)的连接表面部分的材料相混合,且在电子部件(100)的制造过程中,所述接合结构(108)的材料、所述载体(102)的被覆盖的暴露表面部分的材料和所述包封剂(106)的连接表面部分的材料在所述接合结构(108)、所述载体(102)的被覆盖的暴露表面部分与所述包封剂(106)的连接表面部分之间互相流动。

2.根据权利要求1所述的电子部件(100),其特征在于,所述填料颗粒(304)包括由金属氧化物、金属氮化物、氧化铝、二氧化硅、氮化硼、氧化锆、氮化硅、金刚石和氮化铝组成的组中的至少一种,且质量百分比的范围为75%-98%。

3.根据权利要求2所述的电子部件(100),其特征在于,所述质量百分比的范围为90%-95%。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的电子部件(100),其特征在于,所述接合结构(108)的每单位厚度击穿电压乘以热导率除以维氏硬度的平方的值大于1KV W mm3 m-1K-1N-2

5.根据权利要求4所述的电子部件(100),其特征在于,所述值大于3KV W mm3 m-1K-1N-2

6.根据权利要求4所述的电子部件(100),其特征在于,所述值大于10KV W mm3 m-1K-1N-2

7.根据权利要求1-3、5-6中任一项所述的电子部件(100),其特征在于,所述接合结构(108)在1N的测量力下的维氏硬度的范围为0.50N/mm2-3 N/mm2

8.根据权利要求1-3、5-6中任一项所述的电子部件(100),其特征在于,所述接合结构(108)在1N的测量力下的维氏硬度的范围为0.85N/mm2-1.50N/mm2

9.根据权利要求1-3、5-6中任一项所述的电子部件(100),其特征在于,所述接合结构(108)的杨氏模量的范围为0.1GPa-2 GPa。

10.根据权利要求1-3、5-6中任一项所述的电子部件(100),其特征在于,所述接合结构(108)的杨氏模量的范围为0.3GPa-1.5GPa。

11.根据权利要求1-3、5-6中任一项所述的电子部件(100),其特征在于,所述电子部件(100)包括以下特征中的至少一个:

所述接合结构(108)在1N的测量力下显示出不影响至少5.6KV的击穿电压的刮擦阻抗;

所述接合结构(108)在1N的测量力下显示出不影响至少10KV/mm的每单位厚度击穿电压的刮擦阻抗。

12.根据权利要求1-3、5-6中任一项所述的电子部件(100),其特征在于,所述接合结构(108)的厚度的范围为50μm-600μm。

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