[发明专利]测试结构及测试单元

权利要求书

1.一种测试结构，用于测试电压击穿性能，其特征在于，包括：

上层金属层，所述上层金属层包括第一梳状金属线和第二梳状金属线，所述第一梳状金属线包括多个并行排列的第一梳齿金属线，所述第二梳状金属线包括多个并行排列的第二梳齿金属线，且所述第一梳齿金属线和第二梳齿金属线交错相嵌布置；

中层金属层，所述中层金属层包括第三梳状金属线和第四梳状金属线，所述第三梳状金属线包括多个并行排列的第三梳齿金属线，所述第四梳状金属线包括多个并行排列的第四梳齿金属线，并且所述第三梳齿金属线和第四梳齿金属线交错相嵌布置；

下层金属层，所述下层金属层包括多个并行排列的第五金属线，且所述多个第五金属线彼此电性连接，

其中，所述上层金属层、中层金属层和下层金属层沿垂直方向依次布置，所述第一梳状金属线和第三梳状金属线通过通孔电性连接，所述第二梳状金属线和第四梳状金属线通过通孔电性连接，

所述第一梳状金属线、第三梳状金属线连接至第一测试焊盘，所述第二梳状金属线、第四梳状金属线连接至第二测试焊盘，所述下层金属层通过二极管连接第一测试焊盘。

2.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述第一梳齿金属线的至少一侧连接有若干平行或垂直于所述第一梳齿金属线的第一金属盘，所述第二梳齿金属线的至少一侧连接有若干平行或垂直于所述第二梳齿金属线的第二金属盘，相邻的第一梳齿金属线和第二梳齿金属线上的第一金属盘和第二金属盘交错相嵌布置；

所述第三梳齿金属线的至少一侧连接有若干平行或垂直于所述第三梳齿金属线的第三金属盘，所述第四梳齿金属线的至少一侧连接有若干平行或垂直于所述第四梳齿金属线的第四金属盘，相邻的第三梳齿金属线和第四梳齿金属线上的第三金属盘和第四金属盘交错相嵌布置。

3.根据权利要求2所述的测试结构，其特征在于，所述第一金属盘和第三金属盘对齐，且处于对齐位置的一对第一金属盘和第三金属盘通过第一通孔电性连接，所述第二金属盘和第四金属盘对齐，且处于对齐位置的一对第二金属盘和第四金属盘通过第二通孔电性连接。

4.根据权利要求3所述的测试结构，其特征在于，用于连接每对第一金属盘和第三金属盘的第一通孔的数量为偶数，且呈均匀分布；用于连接每对第二金属盘和第四金属盘的第二通孔的数量为偶数，且呈均匀分布。

5.根据权利要求3所述的测试结构，其特征在于，相邻第一通孔和第二通孔不处于对齐位置上。

6.根据权利要求3所述的测试结构，其特征在于，所述第一梳齿金属线和第三梳齿金属线对齐，且处于对齐位置的一对第一梳齿金属线和第三梳齿金属线通过第三通孔电性连接，

其中，所述第二通孔和所述第三通孔处于对齐位置上。

7.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述第一梳齿金属线和第三梳齿金属线对齐，且处于对齐位置的一对第一梳齿金属线和第三梳齿金属线通过第三通孔电性连接，所述第二梳齿金属线和第四梳齿金属线对齐，且处于对齐位置的一对第二梳齿金属线和第四梳齿金属线通过第四通孔电性连接。

8.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述下层金属层的第五金属线呈迂回折线状。

9.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述二极管的阳极与所述第一测试焊盘连接，阴极与所述下层金属层连接。

10.根据权利要求1-8中的任意一项所述的测试结构，其特征在于，不同梳状金属线之间以及不同金属层之间形成有电介质。

11.一种测试单元，用于测试电压击穿性能，其特征在于，包括多个如权利要求1-10中任意一项所述的测试结构。

12.根据权利要求11所述的测试单元，其特征在于，所述多个测试结构分布在晶圆的不同区域内。

13.根据权利要求11所述的测试单元，其特征在于，所述多个测试结构沿垂直方向依次布置。