[发明专利]缓蚀剂用组合物及其应用以及对设备进行酸洗的方法

权利要求书

1.一种缓蚀剂用组合物，其特征在于，该缓蚀剂用组合物含有β-环糊精包合物、所示的碳硫酰胺衍生物、促进剂、炔醇和烷基氨基乙基硫醇，其中，β-环糊精包合物的客体分子为脂肪胺和/或脂肪胺聚氧乙烯醚，R₁为取代或未取代的吡啶基、或者取代或未取代的苯基，所述促进剂为2-巯基苯并噻唑和/或2-巯基-3-辛基噻吩，所述β-环糊精包合物、碳硫酰胺衍生物、促进剂、炔醇和烷基氨基乙基硫醇之间的重量比为1:0.5-10:0.5-10:0.5-10:0.25-5。

2.根据权利要求1所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述β-环糊精包合物、碳硫酰胺衍生物、促进剂、炔醇和烷基氨基乙基硫醇之间的重量比为1:1-5:1-5:1-5:0.5-2。

3.根据权利要求1所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述脂肪胺为具有8-18个碳原子的直链烷基胺，所述脂肪胺聚氧乙烯醚中的脂肪胺基团由具有8-18个碳原子的直链烷基胺提供。

4.根据权利要求1所述的缓蚀剂用组合物，其中，R₁为2-吡啶基、3-吡啶基、4-吡啶基或苯基。

5.根据权利要求1所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述炔醇的结构式为其中，R₂和R₃各自独立地为H或具有1-5个碳原子的烷基。

6.根据权利要求5所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述R₂为H，R₃为具有1-3个碳原子的烷基。

7.根据权利要求5所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述炔醇选自2-丙炔-1-醇、2-丁炔-1-醇、2-戊炔-1-醇和2-己炔-1-醇中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的缓蚀剂用组合物，其中，所述烷基氨基乙基硫醇中的烷基为具有10-18个碳原子的直链烷基。

9.一种对设备进行酸洗的方法，其特征在于，该方法包括将酸洗液与设备进行接触，所述酸洗液含有权利要求1-8中任意一项所述的缓蚀剂用组合物和酸。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，以所述酸洗液的总重量为基准，所述缓蚀剂用组合物的用量为0.05-5重量‰。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其中，所述酸为无机酸和/或有机酸，所述无机酸选自盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸和磷酸中的至少一种，所述有机酸选自氨基磺酸、柠檬酸、羟基乙酸、甲酸、乙二胺四乙酸、草酸、酒石酸和羟基亚乙基二膦酸中的至少一种。

12.权利要求1-8中任意一项所述的缓蚀剂用组合物在设备的酸洗中的应用。

13.根据权利要求12所述的应用，其中，所述设备的待酸洗部位的材质为碳钢、不锈钢、铜及其合金、铝及其合金中的至少一种。