[发明专利]光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机有效
| 申请号： | 201610929894.1 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN106338805B | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 张德福;李显凌;倪明阳;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G02B7/02;G03B21/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 130033 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 元件 自由度 位移 调节 装置 投影 物镜 光刻 | ||
【说明书】：
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