[发明专利]自校准式恒温电迁移测试中的金属活化能评估方法

权利要求书

1.一种自校准式恒温电迁移测试中的金属活化能评估方法，其特征在于包括：在第一步骤确定初始测试温度T和初始载台温度Tchuck，并根据初始测试温度T和初始载台温度Tchuck得出初始电流I_n；在第一步骤之后执行第二步骤，其中通过使得测试温度T增加一个增量温度ΔT以及补偿温度T_OS来改变测试温度，而且使得载台温度增加一个增量温度ΔT来改变载台温度，并且根据改变的测试温度和改变的载台温度得到更新电流I′_n；在第二步骤之后执行第三步骤，其中判断当前的更新电流I′_n是否满足预定条件；在当前的更新电流I′_n满足预定条件的情况下执行第四步骤，其中将当前的更新电流I′_n确定为应力电流。

2.根据权利要求1所述的自校准式恒温电迁移测试中的金属活化能评估方法，其特征在于，在当前的更新电流I′_n不满足预定条件的情况下执行第五步骤，其中进一步改变测试温度，并且根据进一步改变的测试温度和所述改变的载台温度再次得到更新电流I′_n，此后再次执行第三步骤以及后续程序。

3.根据权利要求1或2所述的自校准式恒温电迁移测试中的金属活化能评估方法，其特征在于，在第二步骤中，改变测试温度的处理和改变载台温度的处理是非等量处理。

4.根据权利要求1或2所述的自校准式恒温电迁移测试中的金属活化能评估方法，其特征在于，所述预定条件是：I_n-C_E/2≤I′_n≤I_n+C_E/2；其中C_E是预设参数。

5.根据权利要求1或2所述的自校准式恒温电迁移测试中的金属活化能评估方法，其特征在于，重复各个步骤以得到3组或以上的不同的测试温度和失效寿命的对应数据。

6.根据权利要求5所述的自校准式恒温电迁移测试中的金属活化能评估方法，其特征在于，利用得到的3组或以上的不同的测试温度和失效寿命的对应数据，通过金属寿命布莱克方程，可以计算出该金属测试结构的活化能。

7.根据权利要求1或2所述的自校准式恒温电迁移测试中的金属活化能评估方法，其特征在于，所述自校准式恒温电迁移测试中的金属活化能评估方法用于测试金属互连可靠性。