[发明专利]退火设备及其退火工艺有效
| 申请号： | 201610921638.8 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106435742B | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 杨翠柏;方聪;杨光辉;陈丙振 | 申请（专利权）人： | 珠海鼎泰芯源晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊;许向彤 |
| 地址： | 519085 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 退火 设备 及其 工艺 | ||
【权利要求书】：
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