[发明专利]一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构有效
| 申请号： | 201610918609.6 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106289214B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 刘俊;寇志伟;曹慧亮;石云波;连树仁;冯恒振;唐军 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;王勇 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 冲击 弹性 mems 环形 振动 陀螺 谐振子 结构 | ||
【说明书】：
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