[发明专利]圆光栅偏心误差参数辨识及补偿方法有效
申请号: | 201610917541.X | 申请日: | 2016-10-21 |
公开(公告)号: | CN106500631B | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 潘志康;冯超鹏;祝连庆;郭阳宽;董明利;娄小平;刘超 | 申请(专利权)人: | 北京信息科技大学 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人: | 顾珊;庞立岩 |
地址: | 100085 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 圆光 偏心 误差 参数 辨识 补偿 方法 | ||
【说明书】:
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