[发明专利]一种高速流离子注入机中离子束的调整装置在审
| 申请号： | 201610914560.7 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN106373849A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/147;H01J37/04 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人： | 杨立,陈振玉 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高速 流离 注入 离子束 调整 装置 | ||
【权利要求书】：
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