[发明专利]一种分片系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种硅片处理设备，具体涉及一种分片系统。

背景技术

在对硅片进行插片之前要先对堆叠的硅片进行分片，而由于硅片轻质、易碎，且相邻硅片之间存在一定的吸附力，所以选择在水中进行分片，分片时一般利用负压吸附来实现分片和输送，这样就会导致水槽中的部分水随负压工作而被抽出，会造成水槽中的水不断减少而不利于分片，另外，也会影响负压吸附的效率。

发明内容

针对上述存在的技术不足，本发明的目的是提供一种分片装置，其能够将被抽走的水分离出后送回至水槽中，保证分片工作高效、顺利地进行。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种分片系统，包括进料单元、吸取单元及负压单元，所述的进料单元设置在一水槽内，所述的进料单元中放置有包括沿水平方向叠放有多个基片的基片堆，每个所述的基片沿大致坚直面布置；所述的吸取单元包括输送带，所述的输送带上设置有若干与一负压动力源相连通的负压吸附孔，所述的输送带有部分设置在所述的水槽内并且该部分延伸至所述的进料单元，当所述的基片堆沿进给方向进给时，所述的基片堆中的基片能够逐个被所述的输送带上的负压吸附孔吸附并随输送带移动；所述的负压单元用于向所述的负压吸附孔提供所述的负压动力源，所述的负压单元包括设置在所述的输送带内部的负压箱、设置在所述的负压箱上的至少一个抽气孔、一个密封箱体、与所述的密封箱体相连接的抽气泵和抽液泵，所述的抽气孔通过管体连通至所述的密封箱体，若干个所述的负压吸附孔均与所述的负压箱相连通，所述的负压箱部分位于所述的水槽内。

优选地，所述的负压箱上设置有第一抽气孔和第二抽气孔，所述的第一抽气孔位于所述的负压箱的中部以上的位置，所述的第二抽气孔位于所述的水槽中水面以上且靠近水面的位置。

优选地，所述的密封箱体的相对两侧壁上分别设置有多个隔板，这些所述的隔板相间隔交错设置，这些所述的隔板与所述的密封箱体的内壁之间形成蛇形的气液分离通道。

本发明的有益效果在于：本设计在水中进行分片，并通过负压动力对片体进行吸附和输送，通过密封箱体及与之连接的抽气泵和抽液泵将气和液分离，并将分离出的水送回至水槽中，以保持水槽中的水量利于分片，并保证密封箱体中的可抽负压的空间，进而提高负压吸附孔的吸附力，同时能够大限度地利用负压箱内的可抽负压体积，提高负压工作效率，结构可靠，适于推广应用。

附图说明

附图1为本发明的分片装置中的进料单元与吸取单元的结构示意图；

附图2为本发明的分片装置的结构示意图。

附图中：10、进料单元；101、水槽；102、基片堆；20、吸取单元；201、输送带；30、负压单元；301、负压箱；3011、第一抽气孔；3012、第二抽气孔；302、密封箱体；3021、高位液位传感器；3022、低位液位传感器；303、抽气泵；304、抽液泵；40、控制单元。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本发明作以下详细描述：