[发明专利]一种用于同位素电磁分离器真空系统的控制系统

权利要求书

1.一种用于同位素电磁分离器真空系统的控制系统，其特征在于：

所述真空系统包括顺序连接的如下组成部分：预抽真空机组、真空室、高真空机组、前级真空机组；

所述预抽真空机组将所述真空室预抽真空到20Pa左右的低真空；

所述高真空机组所述将真空室抽真空到低于3×10-3Pa，并一直维持到分离工作结束；所述高真空机组包括扩散泵(7)及与所述扩散泵连接的增压泵(9)、制冷机(6)、扩散泵阀门(8)、空气压缩机(20)；所述高真空机组还包括位于扩散泵和真空室之间的第一真空计；

所述前级真空机组将高真空机组排出的气体抽出；所述前级真空机组包括四台并联的前级泵(16-19)及其对应的四个前级阀门(12-15)、连接所述四个前级阀门的前级阀(11)；所述前级真空机组还包括位于前级泵阀门(12-15)和前级阀(11)之间的第二真空计(10)；

所述控制系统包括PLC模块、路由器、上位机、触摸屏；所述路由器分别连接PLC模块、上位机和触摸屏；所述触摸屏还连接第一真空计和第二真空计；所述PLC模块连接并控制所述真空系统中的继电器、测量元件、断路器及热继电器。

2.如权利要求1所述的用于同位素电磁分离器真空系统的控制系统，其特征在于：

所述预抽真空机组包括顺序连接的预抽泵(1)、罗茨泵(2)、预抽泵阀门(3)。

3.如权利要求1所述的用于同位素电磁分离器真空系统的控制系统，其特征在于：

所述真空室的容积为5m3。

4.如权利要求1所述的用于同位素电磁分离器真空系统的控制系统，其特征在于：

所述触摸屏通过485串口与两台真空计的三个485串口进行通讯，触摸屏与路由器间通过以太网进行通讯。

5.如权利要求1所述的用于同位素电磁分离器真空系统的控制系统，其特征在于：

所述继电器包括扩散泵、增压泵、制冷机、预抽泵、罗茨泵、前级泵及各泵阀门的继电器。

6.如权利要求1所述的用于同位素电磁分离器真空系统的控制系统，其特征在于：

所述测量元件包括压力表、流量计、温度测量单元、电压测量单元、及电流测量单元。