[发明专利]一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散方法在审
| 申请号： | 201610899672.X | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN107955937A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 唐晓峰;李大铭;董建廷;逯琪;张文彬;雷芝红 | 申请（专利权）人： | 上海朗亿新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201699 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磁控溅射 镀膜 分散 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散方法，包括以下步骤：
①将粒径为0.1-150μm的粉体基材及粒径为200μm-2mm的大颗粒粉体按质量比5～20:1混合均匀，加入磁控溅射镀膜机的储料仓内；
②开启机械振动，开启磁控溅射电源，对混合粉体进行磁控溅射镀膜；
③溅射完成后将全部镀膜粉体取出，过筛网去除大颗粒粉体，即可得到最终的镀膜粉体。
2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散方法，其特征在于：所述步骤①的粉体基材包括玻璃鳞片、石英砂、搪瓷、三氧化二铝、硅粉、氮化铝、立方氮化硼、碳化硅、方解石、分子筛。
3.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散方法，其特征在于：所述步骤①的大颗粒粉体包括实心玻璃微珠、石英砂、方解石、质感砂、熔融砂。
4.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜的粉体分散方法，其特征在于：所述步骤②的机械振动包括电机振动、超声波振动。
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