[发明专利]一种在室温环境下向氮化镓中引入杂质的方法在审
申请号: | 201610899050.7 | 申请日: | 2016-10-14 |
公开(公告)号: | CN106328474A | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | 秦国刚;侯瑞祥;李述体;李磊;徐万劲;谢兮兮;宋伟东;肖稼凯 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01L21/223 |
代理公司: | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙)11360 | 代理人: | 李稚婷 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 室温 环境 氮化 引入 杂质 方法 | ||
【说明书】:
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