[发明专利]具有匹配部及分析传感器的一体型高频常压等离子发生装置

权利要求书

1.一种具有匹配部及分析传感器的一体型高频常压等离子发生装置，其特征在于，

在用于遮蔽内置有用于生成等离子的高频常压等离子头的外壳的上部的上板上设置高频输入端和用于对向上述高频输入端输入的高频和阻抗进行匹配的匹配部，

作为上述匹配部的输出的经匹配的高频输出通过附设于上述匹配部的分析传感器，来检测向上述高频常压等离子头供给的高频的电特性，

上述高频常压等离子头为单高频常压等离子头(10)，

上述匹配部为单头单匹配部(60s)，

在上述单头单匹配部(60s)中，供给面板(70)的高频输入连接器(701)与高频同轴电缆(601)相连接，在上述高频同轴电缆(601)的末端，上述高频同轴电缆(601)的外皮借助接地杆(603)接地到匹配器下部板(640)，芯线与附着于第一可变电容器(606)后部面的第一后部面冷却板(605)相连接，

使附着于上述第一可变电容器(606)后部面的第一后部面冷却板(605)与附着于第二可变电容器(609)后部面的第二后部面冷却板(608)相向，并借助导电体相连接，

通过与附着于上述第一可变电容器(606)的前部面的第一前部面冷却板(607)相连接的U字型杆线圈(618)接地到上述匹配器下部板(640)，通过附着于上述第二可变电容器(609)的前部面的第二前部面冷却板(610)与导电体支撑件(611)相连接，

上述导电体支撑件(611)与线圈(612)相连接，上述线圈(612)的相反侧末端部分通过第一分析传感器(616)，使上述单头单匹配部(60s)的输出通过电极引入导电体杆(17)向在匹配器下部板(640)的下方形成于上述单高频常压等离子头(10)下部的等离子反应器供给高频电。

2.根据权利要求1所述的具有匹配部及分析传感器的一体型高频常压等离子发生装置，其特征在于，

在上述单高频常压等离子头(10)中，在头本体(11)的左侧剖面附着有用于防止气体及冷却介质泄漏的左侧剖面块(15)，在头本体(11)的右侧剖面附着有右侧剖面块(16)，上述右侧剖面块(16)用于通过电极引入导电体杆(17)向形成于上述单高频常压等离子头(10)下部的等离子反应器供给高频电，并防止气体及冷却介质泄漏，

在上述头本体(11)的中央附着有使气体向头本体(11)的内部流动的气体集合管(13)及气体集合管流入口(12)，在上述头本体(11)的右侧上端分别附着有使冷却介质循环的冷却介质流入口(18a)及冷却介质流出口(18b)。

3.根据权利要求1所述的具有匹配部及分析传感器的一体型高频常压等离子发生装置，其特征在于，

在上述匹配器下部板(640)，为了改变上述第一可变电容器(606)的容量，在第一可变电容器(606)的调节轴连结第一马达(624)，为了改变上述第二可变电容器(609)的容量，在第二可变电容器(609)的调节轴连结第二马达(625)，通过由安装于上述单头单匹配部(60s)的左侧面(643)的控制板(620)对上述第一马达(624)和上述第二马达(625)的旋转量进行控制，从而调节第一可变电容器(606)和第二可变电容器(609)的容量。

4.根据权利要求1所述的具有匹配部及分析传感器的一体型高频常压等离子发生装置，其特征在于，

在上述单头单匹配部(60s)内，在线圈(612)与电极引入导电体杆(17)之间安装第一分析传感器(616)，上述第一分析传感器(616)检测根据基于工序条件释放的等离子的特性发生变化的高频电压、高频电流及相位，在使用内置于第一分析传感器(616)的微程序对信号进行数据处理后，通过通信端口(704)向设置于外部的计算机传输数据。

5.根据权利要求4所述的具有匹配部及分析传感器的一体型高频常压等离子发生装置，其特征在于，在上述供给面板(70)附着有波形监视端口(705)，通过上述波形监视端口(705)与外部波形分析设备联动分析波形特性。