[发明专利]氧化物薄膜及制备方法、晶体管及制备方法、显示背板有效
| 申请号： | 201610894719.3 | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN106298880B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 刘川;陈昌东;杨柏儒;李恭檀;陶紫滢 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01L29/24 | 分类号： | H01L29/24;H01L21/02;H01L29/786 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭家恩;彭愿洁 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化物 薄膜 制备 方法 晶体管 显示 背板 | ||
【权利要求书】：
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