[发明专利]一种非接触式柱状物垂直度检测方法及装置有效
| 申请号： | 201610893948.3 | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN106441163B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 韩冰;饶鹏;夏晖;陆福星;陈忻;黄茂潼 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 31213 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 郭英<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 接触 柱状 垂直 检测 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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