[发明专利]一种基于碳纳米管的致动器的制备方法

权利要求书

1.一种致动器的制备方法，该方法包括以下步骤：提供一碳纳米管层；在所述碳纳米管层的表面设置一氧化钒层；以及在含氧气氛中退火使所述氧化钒层转变为二氧化钒层。

2.如权利要求1所述的致动器的制备方法，其特征在于，所述在碳纳米管层的表面设置氧化钒层的方法进一步包括步骤：提供多个碳纳米管膜；在每个碳纳米管膜的表面沉积一氧化钒层；将多个沉积有氧化钒层的碳纳米管膜层叠设置于所述碳纳米管层的表面。

3.如权利要求2所述的致动器的制备方法，其特征在于，所述碳纳米管膜厚度小于30纳米，且每个碳纳米管膜表面的氧化钒层厚度大于30纳米，从而使得相邻碳纳米管膜之间的距离大于30纳米。

4.如权利要求2所述的致动器的制备方法，其特征在于，所述碳纳米管膜至少在一个方向的尺寸大于其表面的氧化钒层在该方向的尺寸，从而使得所述氧化钒层转变为二氧化钒层后所述碳纳米管膜部分延伸到所述二氧化钒层外部。

5.如权利要求4所述的致动器的制备方法，其特征在于，进一步包括使所述碳纳米管膜延伸到所述二氧化钒层外的部分与所述碳纳米管层接触并电连接。

6.如权利要求1所述的致动器的制备方法，其特征在于，所述在碳纳米管层的表面设置一氧化钒层的方法进一步包括步骤：提供一碳纳米管阵列，所述碳纳米管阵列包括多个平行间隔设置的碳纳米管；沿着垂直于碳纳米管长度的方向拉伸该碳纳米管阵列，从而使该相邻碳纳米管之间的间距增大；在相邻碳纳米管之间沉积氧化钒，从而形成一氧化钒层；以及将沉积有氧化钒层的碳纳米管阵列层叠设置于所述碳纳米管层的表面，且所述碳纳米管阵列中的碳纳米管垂直于所述碳纳米管层设置。

7.如权利要求6所述的致动器的制备方法，其特征在于，所述碳纳米管阵列中的碳纳米管一端与所述碳纳米管层接触，另一端向远离所述碳纳米管层的方向延伸。

8.如权利要求1所述的致动器的制备方法，其特征在于，进一步包括设置一柔性保护层，所述柔性保护层将所述碳纳米管层或二氧化钒层至少部分包覆。

9.如权利要求1所述的致动器的制备方法，其特征在于，所述碳纳米管层中的多个碳纳米管沿着基本平行于碳纳米管层表面的方向延伸。

10.如权利要求1所述的致动器的制备方法，其特征在于，进一步包括对所述氧化钒层进行掺杂。