[发明专利]一种化合物半导体单晶生长装置及方法在审
| 申请号： | 201610887554.7 | 申请日： | 2016-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN106400101A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 易明辉;雷仁贵;高鹏飞;朱刘 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化合物 半导体 生长 装置 方法 | ||
【说明书】：
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