[发明专利]划片设备

权利要求书

1.一种划片设备，包括：

基板支撑单元，其支撑由基板供应单元供应的基板；

装载台，其设置在所述基板支撑单元之下；

划片单元，其设置在所述装载台的一侧并在所述基板上形成划片线；

基板运送单元，其将放置在所述装载台上的所述基板运送到所述划片单元；以及

基板传递单元，其将所述基板从所述基板支撑单元传递到所述装载台，

其中，所述基板支撑单元形成供所述基板穿过的开口，以便所述基板传递单元通过所述开口将所述基板传递到所述装载台，且

所述基板传递单元包括位置调整单元，所述位置调整单元在所述基板传递单元将所述基板传递到所述装载台的同时调整所述基板的位置，使得所述基板的位置与所述基板将被定位在所述装载台上的准确位置一致。

2.根据权利要求1所述的划片设备，其中，所述基板传递单元被置于所述基板支撑单元的上方，且通过从所述基板支撑单元向下移动穿过所述开口将所述基板直接传递到所述装载台。

3.根据权利要求1所述的划片设备，还包括：

位置检测单元，其检测由所述基板传递单元保持的所述基板的至少一部分的位置。

4.根据权利要求3所述的划片设备，其中，所述位置检测单元被安装在所述装载台上，从而检测放置在所述装载台上的所述基板的下表面的位置。

5.根据权利要求3所述的划片设备，其中，所述位置检测单元被安装在所述基板传递单元上，从而检测放置在所述基板支撑单元上的所述基板的上表面的位置。

6.根据权利要求3所述的划片设备，其中，所述位置调整单元包括基板旋转装置，基于由所述位置检测单元检测的所述基板的位置，所述基板旋转装置旋转所述基板。

7.根据权利要求3所述的划片设备，其中，所述位置调整单元包括基板移动装置，基于由所述位置检测单元检测的所述基板的位置，所述基板移动装置水平地且直线地移动所述基板。

8.根据权利要求1所述的划片设备，其中，所述基板传递单元包括保持所述基板的基板保持构件，而且所述位置调整单元包括：连接构件，其与所述基板保持构件连接；以及驱动单元，其通过旋转轴可旋转地连接到所述连接构件，且沿X轴方向或Y轴方向移动所述连接构件。

9.根据权利要求1所述的划片设备，其中，所述基板传递单元包括基板保持构件，其保持所述基板；支撑构件，其支撑所述基板保持构件；以及升降装置，其通过所述支撑构件连接到所述基板保持构件并沿竖直方向移动所述基板保持构件；且其中，所述位置调整单元位于所述基板保持构件与所述支撑构件之间。