[发明专利]垂直存储器件有效

专利信息
申请号: 201610878702.9 申请日: 2016-10-08
公开(公告)号: CN106847823B 公开(公告)日: 2020-03-27
发明(设计)人: 李承民;赵厚成;南祯硕;李钟旻;崔容准 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/11582 分类号: H01L27/11582;H01L27/11556;H01L23/544
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王新华
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 垂直 存储 器件
【权利要求书】:

1.一种垂直存储器件,包括:

基板;

在所述基板上的多个单元块,每个所述单元块包括,

多个沟道,在垂直于所述基板的顶表面的第一方向上延伸,

多条栅线,在所述基板上层叠在彼此之上,所述栅线围绕所述沟道,

所述栅线沿着所述第一方向彼此间隔开;和

多条布线,在所述栅线上方并电连接到所述栅线;

在所述基板上的多条位线,每个所述位线在与所述基板的所述顶表面平行的第二方向上延伸并且连接到所述多个沟道中的至少一个;以及

在所述基板上的识别图案,所述识别图案在所述多条位线和所述多条布线之间,并且所述识别图案用于选择所述多个单元块中的至少一个。

2.如权利要求1所述的垂直存储器件,其中所述识别图案处于所述基板上方的与所述布线中的至少一个的层级相同的层级。

3.如权利要求1所述的垂直存储器件,其中

所述栅线在第三方向上延伸,该第三方向平行于所述基板的所述顶表面并交叉所述第二方向,

所述多个单元块沿着所述第二方向彼此间隔开。

4.如权利要求3所述的垂直存储器件,还包括:

切割图案,在所述基板上且在所述多个单元块中的相邻单元块之间。

5.如权利要求4所述的垂直存储器件,其中

所述基板包括单元区和延伸区,

所述沟道在所述单元区上,

所述栅线的端部在所述延伸区上,并且

所述切割图案在所述单元区和所述延伸区上延伸。

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