[发明专利]可变磁浮力重力补偿器有效
| 申请号： | 201610876576.3 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107885039B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 季汉川;杨晓峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 可变 浮力 重力 补偿 | ||
1.一种可变磁浮力重力补偿器，其特征在于，包括从内到外依次同心设置的调节磁铁、中心柱磁铁、外环磁铁和外环磁铁外壳，其中所述调节磁铁设置在所述中心柱磁铁的中心孔中并且其一端安装在所述调节磁铁垂向驱动机构上，所述调节磁铁与所述中心柱磁铁垂向充磁且充磁方向相反，所述外环磁铁径向充磁；
还包括调节磁铁垂向驱动机构，通过调节所述调节磁铁垂向驱动机构调节所述调节磁铁相对于中心柱磁铁的垂向位移以调节所述重力补偿器的磁浮力。
2.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，所述调节磁铁垂向驱动机构包括调节磁铁基座、调节机构框架、调节丝杠、调节螺纹套和旋转调节机构，所述调节磁铁安装在所述调节磁铁基座上，所述调节磁铁基座通过所述调节丝杠和调节螺纹套与所述调节机构框架的底部螺纹旋转连接，通过所述旋转调节机构旋转所述调节丝杠来调节所述调节磁铁相对于中心柱磁铁的垂向位移。
3.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，所述中心柱磁铁和外环磁铁是环形磁铁。
4.如权利要求3所述的重力补偿器，其特征在于，所述外环磁铁安装在所述外环磁铁外壳内并与所述外环磁铁外壳一起作为动子通过柔性键连接或者直接连接负载。
5.如权利要求2所述的重力补偿器，其特征在于，所述旋转调节机构是电机或扳手。
6.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，所述中心柱磁铁、调节磁铁和外环磁铁均由钕铁硼材料制成。
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