[发明专利]清理装置、磁控溅射镀膜机及玻璃镀膜方法有效
| 申请号： | 201610856369.1 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN106480418B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 董清世;齐雪松;赵建平;王永星 | 申请（专利权）人： | 信义玻璃(天津)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 300000 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清理 装置 磁控溅射 镀膜 玻璃 方法 | ||
【说明书】：
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