[发明专利]椭偏仪测量超薄膜层的精度提升方法和装置有效
| 申请号： | 201610852448.5 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN106403830B | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 胡国行;单尧;贺洪波;赵元安;谷利元;曾爱军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 椭偏仪 测量 薄膜 精度 提升 方法 装置 | ||
【说明书】：
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