[发明专利]显示不均匀缺陷显现装置、方法和检测设备有效

专利信息
申请号: 201610852245.6 申请日: 2016-09-26
公开(公告)号: CN106646935B 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 王海涛;罗强强;田牛 申请(专利权)人: 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;刘伟
地址: 230012 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 显示 不均匀 缺陷 显现 装置 方法 检测 设备
【说明书】:

技术领域

发明涉及显示不均匀缺陷显现技术领域,尤其涉及一种显示不均匀缺陷显现装置、方法和检测设备。

背景技术

MM(宏观微观)测试设备是TFT-LCD面板领域在宏观检测段主要设备。随着面板尺寸的大型化,高分辨率,轻薄化,和低功耗的发展,玻璃基板越来越薄,其中像素也越来越小,在工艺制程中出现显示不均匀缺陷几率也逐渐增大,因此显示不均匀缺陷显现就显得越发重要,其可以拦截不良,同时提高产品良率,但是现有的显示不均匀缺陷显现装置中存在以下问题:

第一:虽然能检测出Mura(显示不均匀)缺陷,但无法准确的定位和描述形貌,只能靠人工简单粗略的记录,这样就存在不能准确的反馈显示不均匀缺陷的位置和形貌的问题;

第二:在人工记录过程后,再反馈给工艺科室匹配接触点,无形中会有大量产品仍然在生产和产生不良,增大了产品的不良率。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种显示不均匀缺陷显现装置、方法和检测设备,解决现有的显示不均匀缺陷显现装置虽然能检测出显示不均匀缺陷,但无法准确的定位和描述形貌,只能靠人工简单粗略的记录,不能准确的反馈显示不均匀缺陷的位置和形貌的问题。

为了达到上述目的,本发明提供了一种显示不均匀缺陷显现装置,用于显现显示基板上的显示不均匀缺陷,所述显示不均匀缺陷显现装置包括激光发射源、激光感应器、运动支撑单元、显示不均匀缺陷显现单元以及位置检测单元,其中,

所述激光发射源用于被控制而向所述显示基板上的显示不均匀缺陷处发射激光信号,并被控制而描绘出所述显示不均匀缺陷的形貌;

所述运动支撑单元,与所述激光感应器连接,用于支撑所述激光感应器,并控制所述激光感应器运动至能够接收到所述激光发射源发射的激光的位置;

所述激光感应器,用于接收并记录所述激光发射源发射的激光信号;

所述显示不均匀缺陷显现单元,与所述激光感应器连接,用于将所述激光感应器接收到的激光信号转换为数字信号,以模拟出显示不均匀缺陷的形貌;

所述位置检测单元,与所述运动支撑单元连接,用于通过检测所述运动支撑单元支撑的激光感应器与所述显示基板的相对坐标,而得到所述显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标。

实施时,所述运动支撑单元还用于控制所述激光感应器的表面与所述显示基板之间的角度小于预定角度。

实施时,所述显示基板设置于机台上;

所述运动支撑单元包括固定轨道、伸缩杆、旋转支撑模组和动力机构,其中,

所述动力机构分别与所述伸缩杆和所述旋转支撑模组连接;

所述固定轨道沿第一方向固定设置于所述机台的一侧边;

所述伸缩杆沿着第二方向设置,所述伸缩杆包括固定端和伸缩端;

所述伸缩杆的固定端设置于所述固定轨道上,所述伸缩杆能够被所述动力机构控制而沿着所述固定轨道滑动;

所述伸缩杆的伸缩端能够被所述动力机构控制而沿着第二方向运动;

所述旋转支撑模组设置于所述伸缩杆的伸缩端;

所述旋转支撑模组与所述动力机构连接,用于支撑所述激光感应器,并能够被所述动力机构控制而带动所述激光感应器旋转;

所述激光感应器位于所述机台和所述显示基板之间。

实施时,所述旋转支撑模组包括支撑旋转球和支撑部;

所述支撑旋转球,设置于所述伸缩杆的伸缩端,与所述动力机构连接,能够被动力机构控制而旋转;

所述支撑部与所述支撑旋转球连接,并用于支撑所述激光感应器,能够随着所述支撑旋转球旋转而带动所述激光感应器相应旋转。

实施时,所述位置检测单元包括位移传感器、角度传感器、显示基板位置检测模块,相对位置检测模块,其中,

所述位移传感器设置于所述伸缩杆的伸缩端;

所述角度传感器设置于所述旋转支撑模组;

所述位移传感器用于检测得到所述伸缩杆的伸缩端的线性位移信号;

所述角度传感器用于检测当所述旋转支撑模组被所述动力机构控制而旋转至所述激光感应器与所述显示基板平行时,所述旋转支撑模组需要旋转的角度信息;

所述显示基板位置检测模块,用于检测所述显示基板的绝对位置信息;

所述相对位置检测模块,分别与所述位移传感器、所述角度传感器和所述显示基板位置检测模块连接,用于根据所述显示基板的绝对位置信息,所述线性位移信号和所述角度信息,计算得到所述激光感应器在所述显示基板上的位置坐标。

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