[发明专利]一种高电子迁移率晶体管及制备方法在审
| 申请号： | 201610852160.8 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN106298910A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 蒋苓利;沈忱;于洪宇;李涛;纪冬梅 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学;苏州珂晶达电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L21/335 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆,胡彬 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子 迁移率 晶体管 制备 方法 | ||
【说明书】：
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