[发明专利]一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子有效

专利信息
申请号: 201610851460.4 申请日: 2016-09-27
公开(公告)号: CN106622878B 公开(公告)日: 2020-01-17
发明(设计)人: 王雪飞;丁琨 申请(专利权)人: 中国科学院大学
主分类号: B05C11/00 分类号: B05C11/00
代理公司: 11388 北京市中闻律师事务所 代理人: 蒋玉
地址: 100049 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 实时 图像 拍摄 旋涂仪 转子
【说明书】:

发明公开了一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子,所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子将摄像头固在底座上方,底座由电动机带动旋转。因此,即使在高速旋转时摄像头与底座间仍保持相对静止,固定于底座上表面的载片上所发生的行为,如胶液的展开、离心、浓缩、结晶,可以被位于其上方的摄像头拍摄下来,而这些行为的快慢和剧烈程度均可作为优化旋涂参数的依据,如转速、浓度、温度、溶剂种类、溶质种类,也开辟了一种深入研究物质性质的途径。

技术领域

本发明属于旋涂技术领域,尤其涉及一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子。

背景技术

旋涂是一种在载片上制备薄膜的技术,其工作原理是在载片上滴注胶液,然后用特定的装置使载片高速旋转,利用离心力使胶液涂覆在载片上形成薄膜,薄膜的厚度和形态与胶液和载片间的粘滞系数和载片的旋转速度有关。如果所用胶液是溶液,载片的旋转还会加速溶剂的挥发,最终在载片上形成一层固体薄膜。因此,旋涂过程涉及胶液在载片上的展开、离心、浓缩、结晶等一系列动力学过程,而这些过程关系到所形成的薄膜的性质。

现有的旋涂仪一般通过程序控制旋转速度快慢变化换来调节膜的厚度和形态,控制的效果只能靠最终得到的薄膜的性质来判断。因此,一套有效的旋转速度变换程序常常需经过反复的试验才能得到,耗时费力,还要消耗大量胶液。如果能实时记录旋涂过程中胶液分散、离心、浓缩、结晶等一系列变化过程,旋转速度的调整便有据可依。然而,载片的转速通常在每分钟几百转至几千转范围,在如此高速旋转下静置的摄像机很难拍摄清晰的图像。现有的旋涂技术制备薄膜时,胶液在载片上的展开、离心、浓缩、结晶等行为尚无法观察。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子,旨在解决利用旋涂技术制备薄膜时,胶液在载片上的展开、离心、浓缩、结晶等行为无法观察的问题。

本发明是这样实现的,一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子,所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子设置有底座;所述底座固定在电动机转轴上,由电动机带动旋转;

摄像头通过支架固定在底座的上方;

所述支架上固定有光源。

进一步,所述摄像头以WIFI或蓝牙方式向计算机传输数据并接受控制,用于实时观察胶液变化。

进一步,所述摄像头将数据存储在自带的存储器内。

进一步,所述摄像头前安装有一微距光学镜头。

进一步,所述摄像头前安装有一显微镜物镜。

进一步,所述摄像头与底座间的距离可调。

进一步,所述底座和支架的材质是铝合金、不锈钢、聚四氟乙烯、有机玻璃任意一种。

进一步,所述光源是LED贴片,与摄像头共用一个电源。

本发明的另一目的在于提供一种安装所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子的旋涂仪。

本发明提供的可实时图像拍摄的旋涂仪转子,实现对高速旋转的载片上胶液的展开、离心、浓缩、结晶等一系列行为进行图像拍摄和实时监控;本发明将摄像头固在底座上方,底座下方与电动机固定,即使在高速旋转时,摄像头与底座间仍保持相对静止,因此固定于底座上表面的载片上所发生的行为,如胶液的展开、离心、浓缩、结晶,可以被位于其上方的摄像头拍摄下来,而这些行为的快慢和剧烈程度均可作为优化旋涂参数的依据,如转速、浓度、温度、溶剂种类、溶质种类,也开辟了一种深入研究物质性质的途径。

附图说明

图1是本发明实施例提供的可实时图像拍摄的旋涂仪转子结构示意图;

图中:1、底座;2、支架;3、摄像头;4、微距光学镜头或显微镜物镜;5、光源;6、载片;7、条形孔。

具体实施方式

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