[发明专利]等离子清洗机在审
| 申请号: | 201610843036.5 | 申请日: | 2016-09-23 |
| 公开(公告)号: | CN107123587A | 公开(公告)日: | 2017-09-01 |
| 发明(设计)人: | 龙超祥 | 申请(专利权)人: | 深圳市复德科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市惠邦知识产权代理事务所44271 | 代理人: | 孙大勇 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 等离子 清洗 | ||
1.一种等离子清洗机,其特征在于,包括:
料盒放置座(110),用于放置装有引线框架的料盒(112);
第一推片机构(210),设于所述料盒放置座(110)的第一端,用于将所述料盒(112)内的引线框架推出;
载物台移送组件(310),至少包括可沿x轴方向和z轴方向移动的第一载物台(320),用于接收从所述料盒放置座(110)离开的引线框架;
传送带输送组件(410),设于所述料盒放置座(110)与所述第一载物台(320)之间,用于将所述引线框架从所述料盒放置座(110)传送至所述载物台移送组件(310);
下端开口的反应仓(510),所述第一载物台(320)移动至所述反应仓(510)开口端下方时沿z轴方向向上移动与所述反应仓(510)密封形成密封腔体,用于使所述第一载物台(320)承载的引线框架在所述密封腔体内完成清洗过程。
2.根据权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述载物台移送组件(310)还包括可沿x轴方向和z轴方向移动的第二载物台(330),用于接收从所述料盒放置座(110)离开的引线框架,并传送至反应仓(510)下端与所述反应仓(510)密封形成密封腔体,使所述第二载物台(330)承载的引线框架在所述密封腔体内完成清洗过程;
当所述第一载物台(320)密封所述反应仓(510)的开口端时,所述第二载物台(330)位于所述第一推片机构(210)与所述第一载物台(320)之间,所述传动带输送单元(410)位于所述第一推片机构(210)和所述第二载物台(330)之间,用于将从料盒(112)推出的引线框架传送至第二载物台(330);
当所述第二载物台(330)密封所述反应仓(510)的开口端时,所述第一载物台(320)位于所述第一推片机构(210)与所述第二载物台(330)之间,所述传动带输送单元(410)位于所述第一推片机构(210)和所述第一载物台(320)之间,用于将从料盒(112)推出的引线框架传送至第一载物台(320)。
3.根据权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述第一推片机构(210)包括第一推片组件(230)、用于驱动所述第一推片组件(230)的推片传送组件(270),所述第一推片组件(230)包括第一推动件(232)、连接到所述第一推动件(232)的第一弹性组件(250)、连接到所述第一弹性组件的传感器(260)、连接到传感器(260)的控制组件,用于当所述推动件(232)推动引线框架不顺畅受到阻力时传感器(260)输出报警信号使所述推动件(232)停止推动。
4.根据权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述料盒放置座(110)安装有第三升降装置,用于控制所述料盒放置座(110)沿z轴升降。
5.根据权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述第一载物台(320)上设有用于收容所述引线框架的边缘的收容件(382)。
6.根据权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述第一载物台与所述反应仓(510)密封的表面设有密封圈(339)。
7.根据权利要求1所述的等离子清洗机,其特征在于,所述传送带输送组件(410)与所述引线框架之间为滚动摩擦。
8.根据权利要求7所述的等离子清洗机,其特征在于,所述传送带输送组件(410)包括至少两组传送单元(412),每组传送单元(412)包括与所述引线框架接触的主传送装置(414)、辅传送装置(416),所述传送带输送组件(410)还包括同时驱动所有传送单元的第一驱动件(418),所述第一驱动件(418)通过联动轴(419)连接到所有传送单元的主传送装置(414)。
9.根据权利要求8所述的等离子清洗机,其特征在于,所述主传送装置(414)包括与所述引线框架直接接触的第一传动带(420)以及驱动所述第一传动带(420)的第一传动轮组(422),所述第一传动轮组(422)连接到所述联动轴。
10.根据权利要求1-9任意一项所述的等离子清洗机,其特征在于,还包括第二推片机构(250),用于引线框架在所述料盒放置座(110)、载物台移送组件(310)、反应仓(510)三者之间的相互移送,所述第二推片机构(250)包括第二推动件(232’)、连接到所述第二推动件(232’)的第二弹性组件(250’)、连接到所述第二弹性组件的传感器(260)、连接到传感器(260)的控制组件,用于当所述推动件(232’)推动引线框架不顺畅受到阻力时传感器(260’)输出报警信号使所述推动件(232’)停止推动,所述第二推动件(232’)包括方向相反的第一推动部(236a’)和第二推动部(236b’)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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