[发明专利]抓持机构

权利要求书

1.一种抓持机构，其特征在于：具备：多个卡盘爪，在相互接近的情况下产生对被抓持体的抓持力；

卡盘体，将所述多个卡盘爪保持在共同的平面上，并使它们在所述平面上移动；以及

多个夹盘，在所述多个卡盘爪各自抓持所述被抓持体的情况下，介置在所述多个卡盘爪中的每一个与所述被抓持体之间；且

该抓持机构的所述多个卡盘爪的热膨胀系数α₁、所述多个夹盘的热膨胀系数α₂及所述被抓持体的热膨胀系数α_W之间具有下述式1所示的关系：

α_W＜α₁＜α₂(式1)；

在将所述被抓持体的外径设为D_w的情况下，所述夹盘的厚度d₀满足下述式3：

d₀≦{D_W(α_W-α₁)}/{2(α₁-α₂)}(式3)。

2.根据权利要求1所述的抓持机构，其特征在于：所述式1的关系在0℃以上且250℃以下的温度范围内得以满足。

3.根据权利要求1或2所述的抓持机构，其特征在于：所述卡盘体具有将驱动力传递到所述多个卡盘爪而使它们在所述平面上移动的卷轴。

4.根据权利要求1或2所述的抓持机构，其特征在于：在所述卡盘体具有热膨胀系数α₀的情况下，下述式2所示的关系成立：

α₀≦α₁(式2)。

5.根据权利要求1或2所述的抓持机构，其特征在于：所述热膨胀系数α₁为0.5×10^-6/K以上且19.0×10^-6/K以下，

所述热膨胀系数α₂为16.0×10^-6/K以上且24.0×10^-6/K以下。