[发明专利]蒸镀掩膜板及其制作方法

说明书

本发明涉及一种蒸镀掩膜板及其制作方法。蒸镀掩膜板包括：普通金属掩膜板，具有用于形成显示屏上有效显示区域的图案区域；精密金属掩膜板，位于普通金属掩膜板的一侧；以及网框，具有第一连接面和位于第一连接面外围的第二连接面，第二连接面凸出于第一连接面；其中，普通金属掩膜板固定于第一连接面上，精密金属掩膜板固定于第二连接面上；或者，精密金属掩膜板固定于第一连接面上，普通金属掩膜板固定于第二连接面上。本发明的上述蒸镀掩膜板可分别对普通金属掩膜板和精密金属掩膜板进行张网，二者互不影响。图案区域在张网拉力的作用下不容易发生形变，可用于蒸镀各种非矩形的显示屏。此外，本发明还涉及一种蒸镀掩膜板的制作方法。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种蒸镀掩膜板及其制作方法。

背景技术

目前，在制作OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示屏的有机发光层的过程中，利用具有图案的掩膜板掩膜，并通过真空蒸镀方式在待蒸镀基板上形成所需要的图案。掩膜板包括网板和网框，在将网板与网框结合时需要利用张网装置使网板在网框上张紧(称为张网)后，将网板固定在网框上形成所需的掩膜板。

传统的蒸镀掩膜板即为精密金属掩膜板(FMM，Fine Metal Mask)，当需要设置某种形状的图案区域时，直接在精密金属掩膜板上设置图案区域，然而，当显示屏的图案区域为非矩形(例如圆形、多边形或者其他不规则形状)时，这样设置图案区域之后，在蒸镀掩膜板的张网过程中，上述图案区域在张网拉力的作用下很容易发生形变，从而导致蒸镀的结果并非需要的形状，不利于应用。

发明内容

基于此，有必要针对传统的蒸镀掩膜板在张网过程中图案区域很容易发生形变的问题，提供一种在张网过程中图案区域不容易发生形变的蒸镀掩膜板。

一种蒸镀掩膜板，包括：

普通金属掩膜板，具有用于形成显示屏上有效显示区域的图案区域；

精密金属掩膜板，位于所述普通金属掩膜板的一侧；

以及网框，具有第一连接面和位于所述第一连接面外围的第二连接面，所述第二连接面凸出于所述第一连接面；

其中，所述普通金属掩膜板固定于所述第一连接面上，所述精密金属掩膜板固定于所述第二连接面上；

或者，

所述精密金属掩膜板固定于所述第一连接面上，所述普通金属掩膜板固定于所述第二连接面上。

与传统的蒸镀掩膜板相比，本发明的上述蒸镀掩膜板包括普通金属掩膜板、精密金属掩膜板以及网框，由于网框的第二连接面凸出于第一连接面，而普通金属掩膜板和精密金属掩膜板分别固定于第一连接面或者第二连接面上，因此，可分别对普通金属掩膜板和精密金属掩膜板进行张网，二者互不影响。当显示屏的图案区域为非矩形时，在蒸镀掩膜板的张网过程中，图案区域在张网拉力的作用下不容易发生形变，可用于蒸镀各种非矩形的显示屏，有利于应用。

在其中一个实施例中，所述第二连接面凸出于所述第一连接面的高度比固定于所述第一连接面上的普通金属掩膜板或者固定于所述第一连接面上的精密金属掩膜板的厚度大10μm～40μm。

在其中一个实施例中，所述普通金属掩膜板的边缘焊接在所述第一连接面上，所述精密金属掩膜板的边缘焊接在所述第二连接面上；或者

所述精密金属掩膜板的边缘焊接在所述第一连接面上，所述普通金属掩膜板的边缘焊接在所述第二连接面上。

此外，还提供一种蒸镀掩膜板的制作方法，包括以下步骤：

提供网框、普通金属掩膜板以及精密金属掩膜板，所述网框上具有第一连接面和位于所述第一连接面外围的第二连接面，所述第二连接面凸出于所述第一连接面，所述普通金属掩膜板上具有用于形成显示屏上有效显示区域的图案区域；