[发明专利]电子部件输送装置以及电子部件检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

背景技术

以往，公知有检查半导体元件等电子部件的电特性的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置中构成为，根据在检查部的检查结果对电子部件进行分类。而且，该分类包括“检查结果合格”、“检查结果不合格”、“需再次检查(例如，参照专利文献1)”等。

专利文献1：日本特开2000-258507号公报

在现有的电子部件检查装置中，电特性的检查结果为“需再次检查”的情况下，必须将相应的电子部件再次放置于电子部件检查装置。

然而，该放置作业例如是经由操作人员的手进行的，所以该操作人员会感到很麻烦。

另外，在电特性的检查结果为“需再次检查”的情况下，必须将相应的电子部件以载置于托盘(载置部件)的状态再次放置于电子部件检查装置，但该放置作业例如是经由操作人员的手进行的，所以该操作人员会感到很麻烦。

另外，由于上述放置作业的精度不同，有可能使电子部件在托盘上产生位置偏移或脱离托盘。

另外，考虑利用输送部自动进行该放置作业的结构，但在自动进行放置作业情况下，需要高精度地进行输送部的输送。

另外，在现有的电子部件检查装置中，检查部周边的电子部件的输送方向通常被限制在一个方向上，但因使用电子部件检查装置的用户不同，存在想改变该输送方向的情况。然而，输送方向的改变是不可能的。

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分所做出的，能够作为以下方式或者应用例来实现。

[应用例1]本应用例的电子部件输送装置的特征在于，具有输送部，该输送部能够输送载置有电子部件的载置部件，所述输送部能够将载置有所述电子部件的所述载置部件输送至第一位置，该第一位置是配置进行第一检查前的所述电子部件的位置，并能够输送至第二位置，该第二位置是在进行第二检查前配置进行了所述第一检查后的所述电子部件的与所述第一位置不同的位置。

例如在对电子部件进行再次检查的情况下，以往载置有再次检查对象的电子部件的载置部件，例如经由电子部件输送装置的操作人员的手从第二位置配置于第一位置。然而根据本应用例，通过输送部的自动输送，由此能够省去上述操作人员的麻烦，高效地输送载置部件。由此能够迅速进行再次检查。

[应用例2]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选为具有输送所述电子部件的多个电子部件输送头。

由此，能够自如地设定电子部件的输送方向进行输送。

[应用例3]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选为在进行所述第二检查的情况下，所述输送部能够将载置有所述电子部件的所述载置部件从所述第二位置输送至所述第一位置。

由此，例如在第二检查是对进行了第一检查后的电子部件的再次检查的情况下，能够使该需要再次检查的电子部件迅速地移至能够再次检查的状态。

[应用例4]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选为所述第一检查与所述第二检查是相同的检查。

由此，能够进行对电子部件的再次检查。

[应用例5]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选为所述第一检查与所述第二检查是不同的检查。

由此，能够改变检查条件对电子部件进行检查。

[应用例6]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选为所述第一位置和所述第二位置位于所述电子部件输送装置的内部。

由此，在进行第二检查时，能够省略将载置部件暂时向电子部件输送装置的外部排出。

[应用例7]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选为在假定相互正交的X方向和Y方向时，所述输送部具有沿所述X方向输送所述载置部件的载置部件输送机器人。

该结构在载置有预定进行第二检查的电子部件的载置部件的每一批为一张的情况下有效，能够实现生产率(每单位时间的电子部件的输送个数)的提高。

[应用例8]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选为所述第一位置和所述第二位置位于所述电子部件输送装置的外部。

由此，例如在对电子部件进行再次检查动作的中途，要从第一位置或者第二位置取出载置部件的情况下，该取出作业变得容易。

[应用例9]在上述应用例记载的电子部件输送装置中，优选为在假定相互正交的X方向和Y方向时，所述输送部具有：在所述第一位置侧沿所述Y方向输送所述载置部件的装载机、在所述第二位置侧沿所述Y方向输送所述载置部件的卸载机、以及沿所述X方向输送所述载置部件的载置部件输送机器人。