[发明专利]反应性热处理设备

说明书

技术领域

一种反应性热处理设备，特别是一种用于处理薄膜装置，并且具有一凹陷部可防止含硒气体冷凝的液态硒回流的反应性热处理设备。

背景技术

太阳能发电是一种可再生且环保的发电方式，在太阳能发电的过程中不会产生二氧化碳或其他温室气体。也因此，太阳能发电在逐渐重视环保的现代，开始被广泛使用，现在于住宅建筑、公共设施、装置艺术或交通工具上，都能够看到太阳能发电装置。

要将阳光转换为电力，则需要太阳能电池，以储存太阳能转换的电力。太阳能电池的种类较多，其中CIGS(铜铟镓硒)太阳能电池拥有较佳的转换效率、稳定性佳、弱光特性良好的优点，因此CIGS太阳能电池是目前市场主流的太阳能电池的一。

传统的CIGS太阳能电池，其常用的制造方法是溅镀法，将Ga/Cu/In等元素溅镀在Mo金属基板后，再使用硒化炉在以高温450～550℃进行硒化反应。然而，请参阅图1，图1所示为习知硒化过程的示意图。在硒化炉10中，靠近炉口的低温部12温度须维持在250℃以下，避免O形环劣化导致漏气。然

而，当炉中的硒气体14靠近低温部12时，硒气体14会冷凝成液态硒且顺着低温部的炉壁向下流，并顺着炉壁下方回流到高温部11中。回到高温部11的冷凝液态硒又会产生气化作用，并与原本在高温区的气体混合，导致硒气体14浓度变化，进而影响制造过程的稳定性。因此，本发明的有益效果是可避免冷凝的液态硒回流高温区，维持硒反应的稳定性，提高薄膜装置加工的良率。

发明内容

本发明的有益效果是提供一种反应性热处理设备，可避免冷凝的液态硒回流高温区，维持硒反应的稳定性，提高薄膜装置加工的良率。

本发明提供一种反应性热处理设备，适于处理一薄膜装置，该反应性热处理设备包括一炉管。炉管沿着一方向延伸，具有一第一端与一第二端，该炉管还包括一高温部、一低温部及一阀门。高温部靠近该第二端，用以摆放薄膜装置。低温部靠近该第一端，具有一气密结构。阀门设置于该第一端。其中，该低温部的一内侧壁具有一凹陷部，此凹陷部与该高温部的一内侧壁形成一段差。

上述的反应性热处理设备，其中，低温部的凹陷部以外的内侧壁，是与高温部的内侧壁切齐。

上述的反应性热处理设备，其中，凹陷部是延伸通过整个低温部。

上述的反应性热处理设备，其中，高温部与低温部是以相同材料制成。

上述的反应性热处理设备，其中，高温部与该低温部是以石英制成。

上述的反应性热处理设备，其中，高温部与该低温部是一整体结构。

上述的反应性热处理设备，其中，高温部与该低温部是以不同材料制成。

上述的反应性热处理设备，其中，低温部是以不锈钢制成。

上述的反应性热处理设备，还包括一容器，该容器与该凹陷部嵌合。

上述的反应性热处理设备，其中，高温部的长度大于该低温部的长度。

本发明还提供一种反应性热处理设备的制造方法，包括：

提供一炉管，该炉管沿着一方向而设置，该炉管还包括一第一端与一第二端，该炉管包括一高温部与一低温部，该高温部是靠近该第二端并用以放置一薄膜装置，该低温部靠近该第一端且还具有一气密结构；及

在该低温部的内侧壁上形成一凹陷部，该凹陷部与该高温部的内侧壁形成一段差。

上述的反应性热处理设备的制造方法，还包括：形成一容器与该凹陷部嵌合。

上述的反应性热处理设备的制造方法，其中，该高温部的长度大于该低温部的长度。

上述的反应性热处理设备的制造方法，其中，该高温部与该低温部是以相同材料形成。

上述的反应性热处理设备的制造方法，其中，该高温部与该低温部是以不同材料制成。

上述的反应性热处理设备的制造方法，其中，该低温部是以不锈钢形成。

本发明还提供另一种反应性热处理设备的制造方法，包括：

提供一第一炉管；

提供一第二炉管，该第二炉管具有一气密结构，其中该第一炉管的长度大于该第二炉管的长度，该第二炉管的截面积大于该第一炉管的截面积；

接合该第一炉管与该第二炉管，使该第一炉管与该第二炉管的交界处形成一段差。

上述的反应性热处理设备的制造方法，其中，该第一炉管与该第二炉管为不锈钢材质。

上述的反应性热处理设备的制造方法，其中，该第一炉管与该第二炉管为石英材质。