[发明专利]非接触型光纤超声传感器

权利要求书

1.一种非接触型光纤超声传感器，在光纤安装环(1)内侧壁高度的中心平面内右侧设置有反射镜(5)，反射镜(5)与水平激光束入射方向的夹角为45°，光纤安装环(1)下端内设置有空心堵头(7)，光纤安装环(1)内空心堵头(7)上端设置有传感膜(6)，其特征在于：在光纤安装环(1)侧壁高度的中心平面内左侧径向设置有光纤固定管(2)，光纤固定管(2)内设置有中心线相重合的单模光纤(3)和光纤准直镜(4)，单模光纤(3)的右端设置在光纤准直镜(4)左端面；所述的光纤准直镜(4)的长度为5～10mm、波长为1560nm，光纤准直镜(4)右端面上真空蒸镀有透光率为50％的半透半反膜；所述的传感膜(6)为金箔片，金箔片的厚度为0.13μm～0.02mm。

2.根据权利要求1所述的非接触型光纤超声传感器，其特征在于：所述的传感膜(6)与光纤准直镜(4)外侧面之间的距离为10μm～1mm。

3.根据权利要求1所述的非接触型光纤超声传感器，其特征在于：所述的反射镜(5)上端与光纤准直镜(4)右端面的距离为10μm～1mm。