[发明专利]电镀杯组件中的耐用低固化温度疏水涂层

权利要求书

1.一种用于在抓斗组件内的电镀过程中啮合晶片并在电镀过程中提供电流给所述晶片的杯组件，所述杯包括：

杯底，所述杯底被设定尺寸以保持所述晶片并且包括主体部分和径向向内突出的表面，其中所述杯底的至少所述主体部分包括涂覆有固体润滑剂涂层的非导电材料；

弹性体密封件，所述弹性体密封件被布置在所述径向向内突出的表面上，其中所述弹性体密封件在被所述晶片施压时抵靠所述晶片密封以限定所述晶片的外围区域，在电镀过程中电镀液被实质上阻止进入所述外围区域；以及

电触头元件，所述电触头元件被布置在所述弹性体密封件上或邻近所述弹性体密封件，其中所述电触头元件在所述弹性体密封件抵靠所述晶片密封时在所述外围区域中接触所述晶片使得在电镀过程中所述电触头元件能提供电功率给所述晶片。

2.根据权利要求1所述的杯组件，其中所述固体润滑剂涂层在比所述非导电材料的熔化温度低的温度下是能固化的。

3.根据权利要求1所述的杯组件，其中所述固体润滑剂涂层在介于约350°F和约500°F之间的温度下是能固化的。

4.根据权利要求1所述的杯组件，其中所述固体润滑剂涂层是疏水性的。

5.根据权利要求1所述的杯组件，其中所述固体润滑剂涂层包含粘合剂聚合物和润滑剂聚合物。

6.根据权利要求5所述的杯组件，其中所述粘合剂聚合物包含PES和PPS中的至少一种，并且所述润滑剂聚合物包括PTFE、FEP和PFA中的至少一种。

7.根据权利要求5所述的杯组件，其中所述粘合剂聚合物在所述固体润滑剂涂层的固化温度下熔化，并且所述润滑剂聚合物在所述固体润滑剂涂层的固化温度下不熔化。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的杯组件，其中所述杯底的全部或基本上全部由所述非导电材料制成。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的杯组件，其中所述径向向内突出的表面包括涂覆有所述固体润滑剂涂层的所述非导电材料。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的杯组件，其中所述杯底的所述非导电材料包括聚合材料。