[发明专利]增强MEMS微镜抗变能力的方法在审
| 申请号： | 201610813342.4 | 申请日： | 2016-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN106249403A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陈目语;沈文江;余晖俊;王婷婷;徐闰 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙)31205 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 增强 mems 微镜抗变 能力 方法 | ||
【权利要求书】：
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